VET Energyn 8 tuuman piikiekkoja käytetään laajalti tehoelektroniikassa, antureissa, integroiduissa piireissä ja muilla aloilla. Johtajana puolijohdeteollisuudessa olemme sitoutuneet tarjoamaan korkealaatuisia Si Wafer -tuotteita asiakkaidemme kasvavien tarpeiden mukaisesti.
Si Waferin lisäksi VET Energy tarjoaa myös laajan valikoiman puolijohdesubstraattimateriaaleja, mukaan lukien SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer jne. Tuotevalikoimamme kattaa myös uudet laajakaistaiset puolijohdemateriaalit, kuten galliumoksidi Ga2O3 ja AlN Wafer, joka tarjoaa vahvan tuen seuraavan sukupolven tehoelektroniikkalaitteiden kehittämiselle.
VET Energyllä on edistyneet tuotantolaitteet ja täydellinen laadunhallintajärjestelmä varmistaakseen, että jokainen kiekko täyttää tiukat alan standardit. Tuotteillamme ei ole vain erinomaisia sähköisiä ominaisuuksia, vaan niillä on myös hyvä mekaaninen lujuus ja lämpöstabiilisuus.
VET Energy tarjoaa asiakkaille räätälöityjä kiekkoja, mukaan lukien erikokoisia, -tyyppisiä ja dopingpitoisuuksia. Lisäksi tarjoamme myös ammattitaitoista teknistä tukea ja huoltopalvelua, joka auttaa asiakkaita ratkaisemaan erilaisia tuotantoprosessin aikana kohtaamia ongelmia.
WAVERING TEKNISET TIEDOT
*n-Pm = n-tyyppinen Pm-luokka, n-Ps = n-tyyppinen Ps-luokka, Sl = puolieristävä
Tuote | 8-tuumainen | 6-tuumainen | 4 tuumaa | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Jousi(GF3YFCD)-absoluuttinen arvo | ≤15 μm | ≤15 μm | ≤25 μm | ≤15 μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤25 μm | ≤25 μm | ≤40 μm | ≤25 μm | |
LTV (SBIR) - 10 mm x 10 mm | <2 μm | ||||
Wafer Edge | Viistot |
PINNAN VIIMEISTELY
*n-Pm = n-tyyppinen Pm-luokka, n-Ps = n-tyyppinen Ps-luokka, Sl = puolieristävä
Tuote | 8-tuumainen | 6-tuumainen | 4 tuumaa | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
Pintakäsittely | Kaksipuolinen optinen kiillotusaine, Si-Face CMP | ||||
Pinnan karheus | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Reunalastut | Ei sallittu (pituus ja leveys ≥ 0,5 mm) | ||||
Sisennykset | Ei sallittu | ||||
Naarmut (Si-Face) | Määrä ≤ 5, kumulatiivinen | Määrä ≤ 5, kumulatiivinen | Määrä ≤ 5, kumulatiivinen | ||
Halkeamia | Ei sallittu | ||||
Reunojen poissulkeminen | 3 mm |