حامل های پایه گرافیت با پوشش SiC

توضیحات کوتاه:

حامل گرافیت با پوشش VET Energy SiC محصولی با کارایی بالا است که برای ارائه عملکرد ثابت و قابل اعتماد در مدت زمان طولانی طراحی شده است. دارای مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی فوق العاده خوب، خلوص بالا، مقاومت در برابر فرسایش است که آن را به راه حل عالی برای کاربردهای پردازش ویفر تبدیل می کند.


  • محل مبدا:چین
  • ساختار کریستالی:فاز FCCβ
  • تراکم:3.21 گرم بر سانتی متر
  • سختی:2500 ویکرز
  • اندازه دانه:2 تا 10 میکرومتر
  • خلوص شیمیایی:99.99995%
  • ظرفیت حرارتی:640J·kg-1·K-1
  • دمای تصعید:2700 ℃
  • قدرت فلکسورال:415 Mpa (RT 4-Point)
  • مدول یانگ:430 Gpa (4pt خم، 1300℃)
  • انبساط حرارتی (CTE):4.5 10-6K-1
  • هدایت حرارتی:300 (W/MK)
  • جزئیات محصول

    برچسب های محصول

    حامل گرافیت با پوشش SiC یک جزء کلیدی است که در فرآیندهای مختلف تولید نیمه هادی استفاده می شود. ما از فناوری ثبت اختراع خود برای ساختن حامل کاربید سیلیکون با خلوص بسیار بالا، یکنواختی پوشش خوب و عمر مفید عالی و همچنین مقاومت شیمیایی بالا و خواص پایداری حرارتی استفاده می کنیم.

    6

    ویژگی های محصولات ما:

    1. مقاومت در برابر اکسیداسیون در دمای بالا تا 1700 ℃.
    2. خلوص بالا و یکنواختی حرارتی
    3. مقاومت در برابر خوردگی عالی: اسید، قلیایی، نمک و معرف های آلی.

    4. سختی بالا، سطح فشرده، ذرات ریز.
    5. عمر طولانی تر و بادوام تر

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    خواص فیزیکی اولیه CVD SiCپوشش

    性质 / اموال

    典型数值 / ارزش معمولی

    晶体结构 / ساختار کریستالی

    فاز β FCC多晶,主要为(111 )取向

    密度 / تراکم

    3.21 گرم بر سانتی متر مکعب

    硬度 / سختی

    2500 维氏硬度 (500 گرم بار)

    晶粒大小 / Grain SiZe

    2 تا 10 میکرومتر

    纯度 / خلوص شیمیایی

    99.99995%

    热容 / ظرفیت حرارتی

    640 ژون کیلوگرم-1· K-1

    升华温度 / دمای تصعید

    2700 ℃

    抗弯强度 / قدرت خمشی

    415 مگاپاسکال RT 4 نقطه

    杨氏模量 / مدول یانگ

    430 Gpa خم 4pt، 1300 ℃

    导热系数 / ترمالرسانایی

    300W·m-1· K-1

    热膨胀系数 / انبساط حرارتی (CTE)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy تولید کننده واقعی محصولات سفارشی گرافیت و کاربید سیلیکون با پوشش های مختلف مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشه ای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره است، می تواند قطعات سفارشی مختلف را برای صنایع نیمه هادی و فتوولتائیک تامین کند.

    تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی آمده است، می تواند راه حل های مواد حرفه ای تری را برای شما ارائه دهد.

    ما به طور مداوم فرآیندهای پیشرفته‌تری را برای تهیه مواد پیشرفته‌تر توسعه می‌دهیم و یک فناوری انحصاری ثبت شده را ایجاد کرده‌ایم که می‌تواند اتصال بین پوشش و بستر را محکم‌تر و کمتر مستعد جدا شدن کند.

    به گرمی از شما برای بازدید از کارخانه ما استقبال می کنیم، بیایید بحث بیشتری داشته باشیم!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • قبلی:
  • بعدی:

  • چت آنلاین واتس اپ!