گیرنده بشکه ای برای LPE اپیتاکسی فاز مایع
EPI (Epitaxy)یک فرآیند حیاتی در ساخت نیمه هادی های پیشرفته است. این شامل رسوب لایه های نازک مواد بر روی یک بستر برای ایجاد ساختارهای دستگاه پیچیده است. گیرنده بشکه ای گرافیتی با پوشش SiC برای EPI به دلیل هدایت حرارتی عالی و مقاومت در برابر دماهای بالا معمولاً به عنوان گیرنده در راکتورهای EPI استفاده می شود. باپوشش CVD-SiC، در برابر آلودگی، فرسایش و شوک حرارتی مقاوم تر می شود. این منجر به طول عمر بیشتر برای susceptor و بهبود کیفیت فیلم می شود.
مزایای گیرنده بشکه ای ما برای اپیتاکسی فاز مایع LPE:
کاهش آلودگی:ماهیت بی اثر SiC از چسبیدن ناخالصی ها به سطح گیرنده جلوگیری می کند و خطر آلودگی فیلم های رسوب شده را کاهش می دهد.
افزایش مقاومت در برابر فرسایش:SiC نسبت به گرافیت معمولی به طور قابل توجهی در برابر فرسایش مقاوم‌تر است که منجر به طول عمر طولانی‌تری برای گیرنده می‌شود.
بهبود پایداری حرارتی:SiC دارای رسانایی حرارتی عالی است و می تواند در دمای بالا بدون اعوجاج قابل توجه مقاومت کند.
کیفیت فیلم پیشرفته:بهبود پایداری حرارتی و کاهش آلودگی منجر به فیلم‌های رسوب‌شده با کیفیت بالاتر با بهبود یکنواختی و کنترل ضخامت می‌شود.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd یک شرکت با فناوری پیشرفته است که بر تولید و فروش مواد پیشرفته پیشرفته، مواد و فناوری از جمله گرافیت، کاربید سیلیکون، سرامیک، عملیات سطحی مانند پوشش SiC، پوشش TaC، کربن شیشه ای تمرکز دارد. پوشش، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره، این محصولات به طور گسترده ای در فتوولتائیک، نیمه هادی ها، انرژی های نو، متالورژی و غیره استفاده می شود.
تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی است و چندین فناوری ثبت اختراع را برای اطمینان از عملکرد و کیفیت محصول توسعه داده است، همچنین می تواند راه حل های مواد حرفه ای را به مشتریان ارائه دهد.
ما به گرمی از شما برای بازدید از آزمایشگاه و کارخانه ما برای بحث فنی و همکاری استقبال می کنیم!
