گیرنده بشکه ای اپی گرافیت اپیتاکسیال
گیرنده بشکه ای اپی گرافیت اپیتاکسیالیک دستگاه پشتیبان و گرمایشی طراحی شده ویژه است که برای نگهداری و گرم کردن بسترهای نیمه هادی در طی فرآیندهای ساخت مانند فرآیندهای رسوب گذاری یا اپیتاکسی استفاده می شود.
ساختار آن معمولاً استوانه‌ای یا کمی بشکه‌شکل است، دارای ویژگی‌های سطحی دارای چندین جیب یا سکو برای قرار دادن ویفرها است، بسته به روش گرمایش، می‌تواند طراحی جامد یا توخالی داشته باشد.
وظایف اصلی گیرنده بشکه ای اپیتاکسیال:
پشتیبانی از بستر: چندین ویفر نیمه هادی را به طور ایمن نگه می دارد.
-منبع گرما: دماهای بالا مورد نیاز برای رشد را از طریق گرمایش فراهم می کند.
یکنواختی دما: گرمایش یکنواخت بسترها را تضمین می کند.
-چرخش: معمولاً در طول رشد می چرخد تا دما و یکنواختی توزیع گاز را بهبود بخشد.
اصل کار گیرنده بشکه گرافیت Epi:
- در راکتور اپیتاکسیال، گیرنده بشکه تا دمای مورد نیاز (معمولاً 1000-1200 درجه سانتیگراد برای اپیتاکسی سیلیکون) گرم می شود.
-گیرنده بشکه برای اطمینان از توزیع یکنواخت دما و جریان گاز می چرخد.
-گازهای واکنش در دماهای بالا تجزیه می شوند و لایه های همپایی روی سطح زیرلایه تشکیل می دهند.
برنامه های کاربردی:
-در درجه اول برای رشد اپیتاکسیال سیلیکون استفاده می شود
- همچنین برای اپیتاکسی سایر مواد نیمه هادی مانند GaAs، InP و غیره قابل استفاده است.
انرژی VET از گرافیت با خلوص بالا با پوشش CVD-SiC برای افزایش پایداری شیمیایی استفاده می کند:
مزایای گیربکس بشکه ای اپی گرافیتی انرژی VET:
-پایداری دمای بالا؛
یکنواختی حرارتی خوب؛
- می تواند چندین بستر را به طور همزمان پردازش کند و کارایی تولید را بهبود بخشد.
-از نظر شیمیایی بی اثر، حفظ محیط رشد با خلوص بالا.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd یک شرکت با فناوری پیشرفته است که بر تولید و فروش مواد پیشرفته پیشرفته، مواد و فناوری از جمله گرافیت، کاربید سیلیکون، سرامیک، عملیات سطحی مانند پوشش SiC، پوشش TaC، کربن شیشه ای تمرکز دارد. پوشش، پوشش کربن پیرولیتیک، و غیره، این محصولات به طور گسترده ای در فتوولتائیک، نیمه هادی، انرژی نو، متالورژی و غیره استفاده می شود.
تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی است و چندین فناوری ثبت اختراع را برای اطمینان از عملکرد و کیفیت محصول توسعه داده است، همچنین می تواند راه حل های مواد حرفه ای را به مشتریان ارائه دهد.
ما به گرمی از شما برای بازدید از آزمایشگاه و کارخانه ما برای بحث فنی و همکاری استقبال می کنیم!
