این ویفر 6 اینچی N Type SiC برای بهبود عملکرد در شرایط سخت مهندسی شده است، و آن را به گزینه ای ایده آل برای کاربردهایی که نیاز به مقاومت در برابر قدرت و دما دارند تبدیل می کند. محصولات کلیدی مرتبط با این ویفر عبارتند از Si Wafer، SiC Substrate، SOI Wafer و SiN Substrate. این مواد عملکرد بهینه را در انواع فرآیندهای تولید نیمه هادی تضمین می کنند و دستگاه هایی را قادر می سازند که هم از نظر انرژی کارآمد و هم بادوام باشند.
برای شرکت هایی که با ویفر Epi، گالیوم اکسید Ga2O3، کاست یا ویفر AlN کار می کنند، ویفر 6 اینچی N Type SiC VET Energy پایه و اساس لازم را برای توسعه محصول نوآورانه فراهم می کند. این ویفرها چه در الکترونیک پرقدرت باشند و چه جدیدترین فناوری RF، رسانایی عالی و حداقل مقاومت حرارتی را تضمین میکنند و مرزهای کارایی و عملکرد را بالا میبرند.
مشخصات ویفرینگ
*n-Pm=n-نوع Pm-Grade,n-Ps=n-نوع Ps-Grade,Sl=نیمه عایق
مورد | 8 اینچ | 6 اینچ | 4 اینچ | ||
nP | n-PM | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6 میلی متر | ≤6 میلی متر | |||
کمان (GF3YFCD) - ارزش مطلق | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR) - 10mmx10mm | <2μm | ||||
لبه ویفر | اریب |
پایان سطح
*n-Pm=n-نوع Pm-Grade,n-Ps=n-نوع Ps-Grade,Sl=نیمه عایق
مورد | 8 اینچ | 6 اینچ | 4 اینچ | ||
nP | n-PM | n-Ps | SI | SI | |
پایان سطح | پولیش نوری دو طرفه، Si- Face CMP | ||||
زبری سطح | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
تراشه های لبه | هیچکدام مجاز نیستند (طول و عرض ≥0.5 میلی متر) | ||||
تورفتگی ها | هیچ کدام مجاز نیست | ||||
خراش (Si-Face) | تعداد.≤5، تجمعی | تعداد.≤5، تجمعی | تعداد.≤5، تجمعی | ||
ترک ها | هیچ کدام مجاز نیست | ||||
حذف لبه | 3 میلی متر |