Vertikaalne sammas vahvlipaat ja pjedestaal

Vertikaalse veeru vahvlipaadi ja pjedestaaliga esiletoodud pilt

Lühikirjeldus:

Vertical Column Wafer Boat & Pjedestaal vet-Hiinast pakub pooljuhtide valmistamisel ülimat stabiilsust ja täpsust vahvlite käsitsemisel. Vet-China täiustatud disainiga tagab see süsteem optimaalse joonduse ja turvalise hoidmise, suurendades töö efektiivsust ja vähendades vahvlikahjustusi.

Saada meile e-kiri Laadige alla PDF-ina

Toote üksikasjad

Tootesildid

vet-china esitleb uuenduslikku Vertical Column Wafer Boat & Pjedestaali, mis on terviklik lahendus täiustatud pooljuhtide töötlemiseks. Täpselt konstrueeritud vahvlite käsitsemissüsteem tagab ületamatu stabiilsuse ja joonduse, mis on ülitõhusa tootmiskeskkonna jaoks ülioluline.

Vertical Column Wafer Boat & Postament on valmistatud esmaklassilistest materjalidest, mis tagavad termilise stabiilsuse ja vastupidavuse keemilisele korrosioonile, muutes selle sobivaks ka kõige nõudlikumate pooljuhtide valmistamise protsesside jaoks. Selle ainulaadne vertikaalse kolonni disain toetab vahvleid kindlalt, vähendades transpordi ja töötlemise ajal valesti joondamise ja võimalike kahjustuste ohtu.

Veterinaar-hiina vertikaalse sambaga vahvelpaati ja pjedestaali integreerimisega võivad pooljuhtide tootjad oodata paremat läbilaskevõimet, minimeeritud seisakuid ja suuremat toote tootlikkust. See süsteem ühildub erinevate vahvlisuuruste ja konfiguratsioonidega, pakkudes paindlikkust ja mastaapsust erinevate tootmisvajaduste jaoks.

vet-China pühendumus tipptasemele tagab, et iga vertikaalse sambaga vahvlipaat ja pjedestaal vastavad kõrgeimatele kvaliteedi- ja jõudlusstandarditele. Valides selle tipptasemel lahenduse, investeerite tulevikukindlasse plaatide käitlemise lähenemisviisi, mis maksimeerib pooljuhtide tootmise tõhusust ja usaldusväärsust.

Vertikaalne sammas vahvlipaat ja pjedestaal

Ümberkristalliseeritud ränikarbiidi omadused

Ümberkristalliseeritud ränikarbiid (R-SiC) on suure jõudlusega materjal, mille kõvadus on teemandile teisel kohal ja mis moodustub kõrgel temperatuuril üle 2000 ℃. See säilitab paljusid suurepäraseid SiC omadusi, nagu tugevus kõrgel temperatuuril, tugev korrosioonikindlus, suurepärane oksüdatsioonikindlus, hea termilise šoki vastupidavus ja nii edasi.

● Suurepärased mehaanilised omadused. Ümberkristalliseeritud ränikarbiidil on suurem tugevus ja jäikus kui süsinikkiul, kõrge löögikindlus, hea jõudlus äärmuslikes temperatuurides ja erinevates olukordades. Lisaks on sellel ka hea painduvus ja see ei kahjusta kergesti venitamist ega painutamist, mis parandab oluliselt selle jõudlust.

● Kõrge korrosioonikindlus. Ümberkristalliseeritud ränikarbiidil on kõrge korrosioonikindlus erinevatele kandjatele, see võib takistada mitmesuguste söövitavate ainete erosiooni, suudab säilitada oma mehaanilisi omadusi pikka aega, on tugeva nakkumisega, nii et selle kasutusiga on pikem. Lisaks on sellel ka hea termiline stabiilsus, see võib kohaneda teatud temperatuurimuutustega, parandada selle rakendusefekti.

● Paagutamine ei kahane. Kuna paagutamisprotsess ei kahane, ei põhjusta jääkpinge toote deformatsiooni ega pragunemist ning valmistada saab keeruka kujuga ja suure täpsusega osi.

重结晶碳化硅物理特性 Ümberkristalliseeritud ränikarbiidi füüsikalised omadused
性质 / Kinnisvara	典型数值 / Tüüpiline väärtus
使用温度/ Töötemperatuur (°C)	1600°C (hapnikuga), 1700°C (redutseeriv keskkond)
SiC含量/ SiC sisaldus	> 99,96%
自由Si含量/ Tasuta Si sisu	< 0,1%
体积密度/Puistetihedus	2,60-2,70 g/cm³
气孔率/ Näiline poorsus	< 16%
抗压强度/ Survetugevus	> 600MPa
常温抗弯强度/Külm paindetugevus	80–90 MPa (20 °C)
高温抗弯强度Kuum paindetugevus	90–100 MPa (1400 °C)
热膨胀系数/ Soojuspaisumine @1500°C	4.70 10^-6/°C
导热系数/Soojusjuhtivus @1200°C	23W/m•K
杨氏模量/ Elastsusmoodul	240 GPa
抗热震性/ Soojuslöögikindlus	Ülimalt hea

VET Energy on atõeline CVD-kattega kohandatud grafiidist ja ränikarbiidist toodete tootja,saab tarnidamitmesugusedkohandatud osad pooljuhtide ja fotogalvaanilise tööstuse jaoks. Omeie tehniline meeskond pärineb parimatest kodumaistest teadusasutustest ja suudab pakkuda professionaalsemaid materjalilahendusisinu jaoks.

Arendame pidevalt täiustatud protsesse, et pakkuda täiustatud materjale,jaon välja töötanud eksklusiivse patenteeritud tehnoloogia, mis muudab kattekihi ja aluspinna vahelise sideme tihedamaks ja vähem altid eraldumisele.

CVD SiC薄膜基本物理性能 CVD SiC põhilised füüsikalised omadusedkatmine
性质 / Kinnisvara	典型数值 / Tüüpiline väärtus
晶体结构 / Kristallstruktuur	FCC β faas多晶，主要为（111）取向
密度 / Tihedus	3,21 g/cm³
硬度 / Kõvadus	2500 维氏硬度 (500 g koorem)
晶粒大小 / Terasuurus	2-10 μm
纯度 / Keemiline puhtus	99,99995%
热容 / Soojusvõimsus	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatsiooni temperatuur	2700 ℃
抗弯强度 / Paindetugevus	415 MPa RT 4-punktiline
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt painutus, 1300 ℃
导热系数 / ThermalJuhtivus	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Soojuspaisumine (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1