Tünn-sustseptor vedelfaasilise epitaksi LPE jaoks
EPI (epitaksia)on täiustatud pooljuhtide tootmisel ülioluline protsess. See hõlmab õhukeste materjalikihtide sadestamist substraadile, et luua keerukaid seadme struktuure. EPI jaoks mõeldud ränidioksiidiga kaetud grafiiditünnide sustseptoreid kasutatakse tavaliselt EPI reaktorites sustseptoritena nende suurepärase soojusjuhtivuse ja kõrgete temperatuuride vastupidavuse tõttu. KoosCVD-SiC kate, muutub see vastupidavamaks saastumisele, erosioonile ja termilisele šokile. Selle tulemuseks on sustseptori pikem eluiga ja parem kile kvaliteet.
Meie tünni sustseptori eelised vedelfaasilise epitaksia LPE jaoks:
Vähendatud saastumine:SiC inertne olemus takistab lisandite kleepumist sustseptori pinnale, vähendades sadestunud kilede saastumise ohtu.
Suurenenud erosioonikindlus:SiC on oluliselt vastupidavam erosioonile kui tavaline grafiit, mis pikendab sustseptori eluiga.
Parem termiline stabiilsus:SiC on suurepärase soojusjuhtivusega ja talub kõrgeid temperatuure ilma oluliste moonutusteta.
Täiustatud filmikvaliteet:Parem termiline stabiilsus ja väiksem saastumine tagavad kvaliteetsema sadestatud kiled, millel on parem ühtlus ja paksuse kontroll.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd on kõrgtehnoloogiline ettevõte, mis keskendub tipptasemel kõrgtehnoloogiliste materjalide, materjalide ja tehnoloogia, sealhulgas grafiidi, ränikarbiidi, keraamika, pinnatöötluse, nagu SiC kate, TaC kate, klaasjas süsinik, tootmisele ja müügile. kate, pürolüütiline süsinikkate jne, neid tooteid kasutatakse laialdaselt fotogalvaanilises, pooljuhtides, uues energias, metallurgias jne.
Meie tehniline meeskond pärineb parimatest kodumaistest uurimisasutustest ja on välja töötanud mitu patenteeritud tehnoloogiat, et tagada toote jõudlus ja kvaliteet, ning pakkuda klientidele ka professionaalseid materjalilahendusi.
Ootame teid soojalt külastama meie laborit ja tehast tehnilisteks aruteludeks ja koostööks!
