vet-china presenta el innovador Pedestal y barco de oblea de columna vertical, una solución integral para el procesamiento avanzado de semiconductores. Diseñado con meticulosa precisión, este sistema de manipulación de obleas proporciona una estabilidad y alineación inigualables, cruciales para entornos de fabricación de alta eficiencia.
El pedestal y barco tipo oblea de columna vertical está construido con materiales de primera calidad que garantizan estabilidad térmica y resistencia a la corrosión química, lo que lo hace adecuado para los procesos de fabricación de semiconductores más exigentes. Su exclusivo diseño de columna vertical sostiene las obleas de forma segura, lo que reduce el riesgo de desalineación y posibles daños durante el transporte y el procesamiento.
Con la integración del pedestal y barco de oblea de columna vertical de vet-china, los fabricantes de semiconductores pueden esperar un mejor rendimiento, un tiempo de inactividad minimizado y un mayor rendimiento del producto. Este sistema es compatible con varios tamaños y configuraciones de obleas, ofreciendo flexibilidad y escalabilidad para diferentes necesidades de producción.
El compromiso de vet-china con la excelencia garantiza que cada barco y pedestal de columna vertical cumpla con los más altos estándares de calidad y rendimiento. Al elegir esta solución de vanguardia, invierte en un enfoque preparado para el futuro para el manejo de obleas que maximiza la eficiencia y la confiabilidad en la fabricación de semiconductores.
Propiedades del carburo de silicio recristalizado.
El carburo de silicio recristalizado (R-SiC) es un material de alto rendimiento con una dureza solo superada por el diamante, que se forma a una temperatura alta superior a 2000 ℃. Conserva muchas propiedades excelentes del SiC, como resistencia a altas temperaturas, fuerte resistencia a la corrosión, excelente resistencia a la oxidación, buena resistencia al choque térmico, etc.
● Excelentes propiedades mecánicas. El carburo de silicio recristalizado tiene mayor resistencia y rigidez que la fibra de carbono, alta resistencia al impacto, puede tener un buen desempeño en ambientes de temperaturas extremas y puede tener un mejor desempeño de contrapeso en una variedad de situaciones. Además, también tiene buena flexibilidad y no se daña fácilmente al estirarlo y doblarlo, lo que mejora enormemente su rendimiento.
● Alta resistencia a la corrosión. El carburo de silicio recristalizado tiene una alta resistencia a la corrosión en una variedad de medios, puede prevenir la erosión de una variedad de medios corrosivos, puede mantener sus propiedades mecánicas durante mucho tiempo y tiene una fuerte adhesión, por lo que tiene una vida útil más larga. Además, también tiene buena estabilidad térmica, puede adaptarse a un cierto rango de cambios de temperatura y mejora su efecto de aplicación.
● La sinterización no se encoge. Debido a que el proceso de sinterización no se contrae, ninguna tensión residual provocará deformación o agrietamiento del producto, y se pueden preparar piezas con formas complejas y alta precisión.
| 重结晶碳化硅物理特性 Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado | |
| 性质 / Propiedad | 典型数值 / Valor típico |
| 使用温度/ Temperatura de trabajo (°C) | 1600°C (con oxígeno), 1700°C (ambiente reductor) |
| Sic含量/ contenido de SiC | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Contenido gratuito de Si | <0,1% |
| 体积密度/densidad aparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
| 气孔率/ Porosidad aparente | < 16% |
| 抗压强度/ Fuerza de compresión | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Resistencia a la flexión en frío | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Resistencia a la flexión en caliente | 90-100MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Expansión térmica @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 导热系数/Conductividad térmica a 1200°C | 23W/m·K |
| 杨氏模量/ Módulo elástico | 240 GPa |
| 抗热震性/ Resistencia al choque térmico | Extremadamente bueno |
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| ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas de CVD SiCrevestimiento | |
| 性质 / Propiedad | 典型数值 / Valor típico |
| 晶体结构 / Estructura cristalina | Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densidad | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Dureza | 2500 libras (carga de 500 g) |
| 晶粒大小 / Tamaño del grano | 2~10μm |
| 纯度 / Pureza Química | 99,99995% |
| 热容 / Capacidad calorífica | 640 J·kg-1·k-1 |
| 升华温度 / Temperatura de sublimación | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Resistencia a la flexión | 415 MPa RT de 4 puntos |
| 杨氏模量 / Módulo de Young | Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TermayoConductividad | 300W·m-1·k-1 |
| 热膨胀系数 / Expansión Térmica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
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