Susceptor de barril recubierto de SiC

Breve descripción:

El susceptor de barril recubierto de SiC de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para proporcionar un rendimiento constante y confiable durante un período prolongado. Tiene muy buena resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que la convierte en la solución perfecta para aplicaciones de procesamiento de obleas.

Lugar de origen:Porcelana

Estructura cristalina:Fase FCCβ

Densidad :3,21 g/cm3;

Dureza:2500 Vickers;

Tamaño de grano:2~10 µm;

Pureza química:99,99995%;

Capacidad calorífica:640J·kg-1·K-1;

Temperatura de sublimación:2700 ℃;

Fuerza flexural:415 Mpa (RT de 4 puntos);

Módulo de Young:430 Gpa (curvatura de 4 puntos, 1300 ℃);

Expansión Térmica (CTE):4,5 10-6K-1;

Conductividad térmica:300 (W/MK);

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Detalle del producto

Etiquetas de producto

Susceptor de barril is a llaveComponente utilizado en diversos procesos de fabricación de semiconductores.Utilizamos nuestra tecnología patentada para hacer elsusceptor de barrilconpureza extremadamente alta,bienrevestimientouniformidady una excelente vida útil, así comoPropiedades de alta resistencia química y estabilidad térmica.

FP Energía es elfabricante real de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con revestimiento CVD,puede suministrarvariosPiezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica. ONuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede proporcionar soluciones de materiales más profesionales.para ti.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiales más avanzados,yhan desarrollado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el revestimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa a desprenderse.

FCaracterísticas de nuestros productos:

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700℃.
2. Alta pureza yuniformidad térmica
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Vida útil más larga y más duradera

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas de CVD SiCrevestimiento
性质 / Propiedad	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estructura cristalina	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidad	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 libras (carga de 500 g)
晶粒大小 / Tamaño del grano	2~10μm
纯度 / Pureza Química	99,99995%
热容 / Capacidad calorífica	640 J·kg^-1·k^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia a la flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃
导热系数 / TermayoConductividad	300W·m^-1·k^-1
热膨胀系数 / Expansión Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1