El susceptor recubierto de carburo de silicio esa llaveComponente utilizado en diversos procesos de fabricación de semiconductores.Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar el susceptor recubierto de carburo de silicio conpureza extremadamente alta,bienrevestimientouniformidady una excelente vida útil, así comoPropiedades de alta resistencia química y estabilidad térmica.
FP Energía es elfabricante real de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con revestimiento CVD,puede suministrarvariosPiezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica. ONuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede proporcionar soluciones de materiales más profesionales.para ti.
Desarrollamos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiales más avanzados,yhan desarrollado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el revestimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa a desprenderse.
FCaracterísticas de nuestros productos:
1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700℃.
2. Alta pureza yuniformidad térmica
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Vida útil más larga y más duradera
ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas de CVD SiCrevestimiento | |
性质 / Propiedad | 典型数值 / Valor típico |
晶体结构 / Estructura cristalina | Fase β de la FCC多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Densidad | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Dureza | 2500 libras (carga de 500 g) |
晶粒大小 / Tamaño del grano | 2~10μm |
纯度 / Pureza Química | 99,99995% |
热容 / Capacidad calorífica | 640 J·kg-1·k-1 |
升华温度 / Temperatura de sublimación | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Resistencia a la flexión | 415 MPa RT de 4 puntos |
杨氏模量 / Módulo de Young | Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃ |
导热系数 / TermayoConductividad | 300W·m-1·k-1 |
热膨胀系数 / Expansión Térmica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Le damos una calurosa bienvenida a visitar nuestra fábrica, ¡discutamos más a fondo!