Susceptor de grafito recubierto de carburo de silicio para grabado LED

Breve descripción:

El susceptor de carburo de silicio para grabado de LED (bandeja de SiC) es un accesorio especial para el grabado profundo de silicio (máquina de grabado ICP). portador de oblea, también conocido como portador de oblea, portador de oblea de silicio, también conocido como oblea de bolsillo. Ampliamente utilizado en CVD de semiconductores y pulverización catódica al vacío.


Detalle del producto

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El susceptor recubierto de carburo de silicio esa llaveComponente utilizado en diversos procesos de fabricación de semiconductores.Utilizamos nuestra tecnología patentada para fabricar el susceptor recubierto de carburo de silicio conpureza extremadamente alta,bienrevestimientouniformidady una excelente vida útil, así comoPropiedades de alta resistencia química y estabilidad térmica.

FP Energía es elfabricante real de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con revestimiento CVD,puede suministrarvariosPiezas personalizadas para la industria de semiconductores y fotovoltaica. ONuestro equipo técnico proviene de las principales instituciones de investigación nacionales y puede proporcionar soluciones de materiales más profesionales.para ti.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiales más avanzados,yhan desarrollado una tecnología patentada exclusiva que puede hacer que la unión entre el revestimiento y el sustrato sea más estrecha y menos propensa a desprenderse.

FCaracterísticas de nuestros productos:

1. Resistencia a la oxidación a altas temperaturas hasta 1700.
2. Alta pureza yuniformidad térmica
3. Excelente resistencia a la corrosión: ácidos, álcalis, sales y reactivos orgánicos.
4. Alta dureza, superficie compacta, partículas finas.
5. Vida útil más larga y más duradera

ECV SiC薄膜基本物理性能

Propiedades físicas básicas de CVD SiCrevestimiento

性质 / Propiedad

典型数值 / Valor típico

晶体结构 / Estructura cristalina

Fase β de la FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densidad

3,21 g/cm³

硬度 / Dureza

2500 libras (carga de 500 g)

晶粒大小 / Tamaño del grano

2~10μm

纯度 / Pureza Química

99,99995%

热容 / Capacidad calorífica

640 J·kg-1·k-1

升华温度 / Temperatura de sublimación

2700 ℃

抗弯强度 / Resistencia a la flexión

415 MPa RT de 4 puntos

杨氏模量 / Módulo de Young

Curva de 430 Gpa 4 puntos, 1300 ℃

导热系数 / TermayoConductividad

300W·m-1·k-1

热膨胀系数 / Expansión Térmica (CTE)

4,5×10-6K-1

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Le damos una calurosa bienvenida a visitar nuestra fábrica, ¡discutamos más a fondo!

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