Susceptor de barril para epitaxia en fase líquida LPE

Susceptor de barril para epitaxia en fase líquida LPE

EPI (Epitaxia)Es un proceso crítico en la fabricación de semiconductores avanzados. Implica la deposición de finas capas de material sobre un sustrato para crear estructuras complejas de dispositivos. Los susceptores de barril de grafito recubiertos de SiC para EPI se usan comúnmente como susceptores en reactores EPI debido a su excelente conductividad térmica y resistencia a altas temperaturas. ConRecubrimiento CVD-SiC, se vuelve más resistente a la contaminación, la erosión y el choque térmico. Esto da como resultado una vida útil más larga para el susceptor y una mejor calidad de la película.

Ventajas de nuestro susceptor de barril para epitaxia en fase líquida LPE:
Contaminación reducida:La naturaleza inerte del SiC evita que las impurezas se adhieran a la superficie del susceptor, reduciendo el riesgo de contaminación de las películas depositadas.
Mayor resistencia a la erosión:El SiC es significativamente más resistente a la erosión que el grafito convencional, lo que prolonga la vida útil del susceptor.
Estabilidad térmica mejorada:El SiC tiene una excelente conductividad térmica y puede soportar altas temperaturas sin una distorsión significativa.
Calidad de película mejorada:La estabilidad térmica mejorada y la contaminación reducida dan como resultado películas depositadas de mayor calidad con mayor uniformidad y control del espesor.