Barela susceptor por likva faza epitaksio LPE
EPI (Epitaksio)estas kritika procezo en la fabrikado de progresintaj duonkonduktaĵoj. Ĝi implikas la demetadon de maldikaj tavoloj de materialo sur substrato por krei kompleksajn aparatstrukturojn. SiC tegita grafitbarela susceptor por EPI estas ofte utiligitaj kiel susceptors en EPI-reaktoroj pro sia bonega varmokondukteco kaj rezisto al altaj temperaturoj. KunCVD-SiC tegaĵo, ĝi iĝas pli rezistema al poluado, erozio kaj termika ŝoko. Tio rezultigas pli longan vivdaŭron por la susceptor kaj plibonigitan filmkvaliton.
Avantaĝoj de nia barela susceptor por likva faza epitaksio LPE:
Reduktita Poluado:La inerta naturo de SiC malhelpas malpuraĵojn adheri al la susceptorsurfaco, reduktante la riskon de poluado de la deponitaj filmoj.
Pliigita Eroziorezisto:SiC estas signife pli rezistema al erozio ol konvencia grafito, kondukante al pli longa vivotempo por la susceptor.
Plibonigita Termika Stabileco:SiC havas bonegan varmokonduktecon kaj povas elteni altajn temperaturojn sen grava misprezento.
Plibonigita Filmkvalito:La plibonigita termika stabileco kaj reduktita poluado rezultigas pli altkvalitajn deponitajn filmojn kun plibonigita unuformeco kaj dikeco-kontrolo.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd estas altteknologia entrepreno fokusanta pri la produktado kaj vendo de altnivelaj altnivelaj materialoj, la materialoj kaj teknologio inkluzive de grafito, siliciokarbido, ceramikaĵo, surfaca traktado kiel SiC-tegaĵo, TaC-tegaĵo, vitreca karbono. tegaĵo, piroliza karbona tegaĵo, ktp., ĉi tiuj produktoj estas vaste uzataj en fotovoltaiko, duonkonduktaĵo, nova energio, metalurgio, ktp.
Nia teknika teamo venas de ĉefaj enlandaj esploraj institucioj, kaj evoluigis multoblajn patentitajn teknologiojn por certigi produktan rendimenton kaj kvaliton, ankaŭ povas provizi klientojn per profesiaj materialaj solvoj.
Ni kore bonvenigas vin viziti nian laboratorion kaj planton por teknika diskuto kaj kunlaboro!
