1. Agnosko antaŭ purigado
1) Kiam laPECVD grafita boato/portanto estas uzata pli ol 100 ĝis 150 fojojn, la funkciigisto bezonas ĝustatempe kontroli la tegan kondiĉon. Se estas nenormala tegaĵo, ĝi devas esti purigita kaj konfirmita. La normala tega koloro de la silicioblato en la grafita boato/portilo estas blua. Se la oblato havas ne-bluajn, multoblajn kolorojn, aŭ la kolordiferenco inter la oblatoj estas granda, ĝi estas nenormala tegaĵo, kaj la kaŭzo de la anomalio devas esti konfirmita ĝustatempe.
2) Post kiam la proceza personaro analizas la tegan kondiĉon de laPECVD grafita boato/portanto, ili determinos ĉu la grafita boato devas esti purigita kaj ĉu la kartpunkto devas esti anstataŭigita, kaj la grafita boato/portanto kiu devas esti purigita estos transdonita al la ekipaĵpersonaro por purigado.
3) Post lagrafita boato/portanto estas difektita, la produktadpersonaro elprenos ĉiujn siliciajn oblatojn en la grafita boato kaj uzos CDA (kunpremita aero) por ordigi la fragmentojn en lagrafita boato. Post kompletigo, la ekipaĵpersonaro levos ĝin en la acidtankon, kiu estis preparita kun certa proporcio de HF-solvo por purigado.
2. Purigado de grafita boato
Oni rekomendas uzi 15-25% hidrofluoracidan solvon por tri rondoj de purigado, ĉiu dum 4-5 horoj, kaj periode bobeli nitrogenon dum la trempado kaj purigado, aldonante ĉirkaŭ duonhoron da purigado; noto: ne rekomendas uzi aeron rekte kiel gasfonton por bobeli. Post pekado, lavu per pura akvo dum ĉirkaŭ 10 horoj, kaj konfirmu, ke la boato estas plene purigita. Post purigado, bonvolu kontroli la surfacon de la boato, la grafitkartpunkton kaj la boatan folion, kaj aliajn partojn por vidi ĉu ekzistas ia silicio-nitruda restaĵo. Poste sekigi laŭ la postuloj.
3. Purigaj antaŭzorgoj
A) Ĉar HF-acido estas tre koroda substanco kaj havas certan volatilon, ĝi estas danĝera por funkciigistoj. Tial, funkciigistoj ĉe la purigadposteno devas preni sekurecajn antaŭzorgojn kaj esti administritaj de diligenta persono.
B) Oni rekomendas malmunti la boaton kaj nur purigi la grafitan parton dum purigado, por ke ĉiu kontakta parto estu purigita pli ĝisfunde. Nuntempe, multaj hejmaj fabrikistoj uzas ĝeneralan purigadon, kio estas oportuna, sed ĉar HF-acido estas koroda al ceramikaj partoj, ĝenerala purigado mallongigos la servodaŭron de la respondaj partoj.
Afiŝtempo: Dec-23-2024