Η vet-china διασφαλίζει ότι κάθε ΑνθεκτικόΚουπί χειρισμού γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίουέχει εξαιρετική απόδοση και αντοχή. Αυτό το κουπί χειρισμού γκοφρέτας καρβιδίου πυριτίου χρησιμοποιεί προηγμένες διαδικασίες κατασκευής για να διασφαλίσει ότι η δομική του σταθερότητα και λειτουργικότητα παραμένουν σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και χημικής διάβρωσης. Αυτός ο καινοτόμος σχεδιασμός παρέχει εξαιρετική υποστήριξη για το χειρισμό γκοφρέτας ημιαγωγών, ειδικά για αυτοματοποιημένες λειτουργίες υψηλής ακρίβειας.
SiC Cantilever Paddleείναι ένα εξειδικευμένο εξάρτημα που χρησιμοποιείται σε εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών όπως κλίβανος οξείδωσης, κλίβανος διάχυσης και φούρνος ανόπτησης, η κύρια χρήση είναι για φόρτωση και εκφόρτωση πλακιδίων, υποστηρίζει και μεταφέρει γκοφρέτες κατά τη διάρκεια διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας.
Κοινές δομέςτουΟύτωcαντιμοχλόςpκλούβιος: μια κατασκευή με πρόβολο, στερεωμένη στο ένα άκρο και ελεύθερη στην άλλη, έχει τυπικά ένα επίπεδο σχέδιο που μοιάζει με κουπί.
ΕργαζόμενοςpαρχήτουΟύτωcαντιμοχλόςpκλούβιος:
Το κουπί πρόβολου μπορεί να κινηθεί πάνω-κάτω ή μπρος-πίσω μέσα στο θάλαμο του κλιβάνου, μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τη μετακίνηση πλακιδίων από περιοχές φόρτωσης σε περιοχές επεξεργασίας ή εκτός περιοχών επεξεργασίας, υποστηρίζοντας και σταθεροποιώντας τις γκοφρέτες κατά την επεξεργασία σε υψηλή θερμοκρασία.
Φυσικές ιδιότητες του ανακρυσταλλωμένου καρβιδίου του πυριτίου | |
Ιδιοκτησία | Τυπική τιμή |
Θερμοκρασία λειτουργίας (°C) | 1600°C (με οξυγόνο), 1700°C (μειωτικό περιβάλλον) |
Περιεχόμενο SiC | > 99,96% |
Δωρεάν περιεχόμενο Si | < 0,1% |
Χύδην πυκνότητα | 2,60-2,70 g/cm3 |
Φαινόμενο πορώδες | < 16% |
Αντοχή συμπίεσης | > 600 MPa |
Αντοχή σε ψυχρή κάμψη | 80-90 MPa (20°C) |
Δύναμη καυτής κάμψης | 90-100 MPa (1400°C) |
Θερμική διαστολή @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Θερμική αγωγιμότητα @1200°C | 23 W/m•K |
Συντελεστής ελαστικότητας | 240 GPa |
Αντοχή σε θερμικό σοκ | Εξαιρετικά καλό |