Το AdvancedSiC Cantilever Paddlefor Wafer Processing που δημιουργήθηκε από την vet-china παρέχει μια εξαιρετική λύση για την κατασκευή ημιαγωγών. Αυτό το κουπί πρόβολου είναι κατασκευασμένο από υλικό SiC (καρβίδιο του πυριτίου) και η υψηλή του σκληρότητα και αντοχή στη θερμότητα του επιτρέπουν να διατηρεί εξαιρετική απόδοση σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά περιβάλλοντα. Ο σχεδιασμός του Cantilever Paddle επιτρέπει στη γκοφρέτα να υποστηρίζεται αξιόπιστα κατά την επεξεργασία, μειώνοντας τον κίνδυνο κατακερματισμού και ζημιάς.
SiC Cantilever Paddleείναι ένα εξειδικευμένο εξάρτημα που χρησιμοποιείται σε εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών όπως κλίβανος οξείδωσης, κλίβανος διάχυσης και φούρνος ανόπτησης, η κύρια χρήση είναι για φόρτωση και εκφόρτωση πλακιδίων, υποστηρίζει και μεταφέρει γκοφρέτες κατά τη διάρκεια διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας.
Κοινές δομέςτουΟύτωcαντιμοχλόςpκλούβιος: μια κατασκευή με πρόβολο, στερεωμένη στο ένα άκρο και ελεύθερη στο άλλο, έχει τυπικά ένα επίπεδο σχέδιο που μοιάζει με κουπί.
Η VET Energy χρησιμοποιεί υλικά υψηλής καθαρότητας ανακρυσταλλωμένου καρβιδίου του πυριτίου για να εγγυηθεί την ποιότητα.
| Φυσικές ιδιότητες του ανακρυσταλλωμένου καρβιδίου του πυριτίου | |
| Ιδιοκτησία | Τυπική τιμή |
| Θερμοκρασία λειτουργίας (°C) | 1600°C (με οξυγόνο), 1700°C (μειωτικό περιβάλλον) |
| Περιεχόμενο SiC | > 99,96% |
| Δωρεάν περιεχόμενο Si | < 0,1% |
| Χύδην πυκνότητα | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Φαινόμενο πορώδες | < 16% |
| Αντοχή συμπίεσης | > 600MPa |
| Αντοχή σε ψυχρή κάμψη | 80-90 MPa (20°C) |
| Δύναμη καυτής κάμψης | 90-100 MPa (1400°C) |
| Θερμική διαστολή @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Θερμική αγωγιμότητα @1200°C | 23W/m•K |
| Συντελεστής ελαστικότητας | 240 GPa |
| Αντοχή σε θερμικό σοκ | Εξαιρετικά καλό |
Τα πλεονεκτήματα του Advanced SiC Cantilever Paddle της VET Energy για επεξεργασία γκοφρέτας είναι:
-Σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία: μπορεί να χρησιμοποιηθεί σε περιβάλλοντα άνω των 1600°C.
-Χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής: διατηρεί τη σταθερότητα των διαστάσεων, μειώνοντας τον κίνδυνο παραμόρφωσης του πλακιδίου.
-Υψηλή καθαρότητα: χαμηλότερος κίνδυνος μόλυνσης μετάλλων.
-Χημική αδράνεια: ανθεκτικό στη διάβρωση, κατάλληλο για διάφορα περιβάλλοντα αερίου.
-Υψηλή αντοχή και σκληρότητα: Ανθεκτικό στη φθορά, μεγάλη διάρκεια ζωής.
-Καλή θερμική αγωγιμότητα: βοηθά στην ομοιόμορφη θέρμανση της γκοφρέτας.
-
Γκοφρέτα SiC τύπου N 6 ιντσών
-
Επικάλυψη καρβιδίου τανταλίου: ανθεκτική στη φθορά, υψηλή...
-
24v Κυψέλη καυσίμου υδρογόνου Pemfc Stack 1000w Hydrog...
-
Ηλεκτρικό Εργαλείο Παροχής Ενέργειας Υδρογόνου 220W Fuel Cel...
-
Κυψέλη καυσίμου υδρογόνου 2000w Pemfc Stack 25v Drone ...
-
Προσαρμοσμένα σύνθετα υλικά C/C υψηλής αντοχής (CFC)