θερμαντήρας κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου

Κτηνίατρος-ΚίναΚεραμικό καρβίδιο πυριτίουΤο Coating είναι μια προστατευτική επίστρωση υψηλής απόδοσης κατασκευασμένη από εξαιρετικά σκληρό και ανθεκτικό στη φθοράκαρβίδιο του πυριτίου (SiC)υλικό, το οποίο παρέχει εξαιρετική αντοχή στη χημική διάβρωση και σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες. Αυτά τα χαρακτηριστικά είναι κρίσιμα στην παραγωγή ημιαγωγών, άραΚεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίουχρησιμοποιείται ευρέως σε βασικά εξαρτήματα του εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών.

Ο συγκεκριμένος ρόλος του Vet-ChinaΚεραμικό καρβίδιο πυριτίουΗ επίστρωση στην παραγωγή ημιαγωγών έχει ως εξής:

Βελτιώστε την ανθεκτικότητα του εξοπλισμού:Κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου Η κεραμική επίστρωση καρβιδίου πυριτίου παρέχει εξαιρετική προστασία επιφάνειας για εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών με την εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα και αντοχή στη φθορά. Ειδικά σε περιβάλλοντα διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας και εξαιρετικά διαβρωτικά, όπως η εναπόθεση χημικών ατμών (CVD) και η χάραξη πλάσματος, η επίστρωση μπορεί αποτελεσματικά να αποτρέψει την καταστροφή της επιφάνειας του εξοπλισμού από χημική διάβρωση ή φυσική φθορά, επεκτείνοντας έτσι σημαντικά τη διάρκεια ζωής του τον εξοπλισμό και τη μείωση του χρόνου διακοπής λειτουργίας που προκαλείται από συχνή αντικατάσταση και επισκευή.

Βελτιώστε την καθαρότητα της διαδικασίας:Στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, η μικροσκοπική μόλυνση μπορεί να προκαλέσει ελαττώματα του προϊόντος. Η χημική αδράνεια της κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου της επιτρέπει να παραμένει σταθερή κάτω από ακραίες συνθήκες, εμποδίζοντας το υλικό να απελευθερώσει σωματίδια ή ακαθαρσίες, διασφαλίζοντας έτσι την περιβαλλοντική καθαρότητα της διαδικασίας. Αυτό είναι ιδιαίτερα σημαντικό για τα στάδια κατασκευής που απαιτούν υψηλή ακρίβεια και υψηλή καθαριότητα, όπως η εμφύτευση PECVD και ιόντων.

Βελτιστοποιήστε τη θερμική διαχείριση:Στην επεξεργασία ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας, όπως οι διαδικασίες ταχείας θερμικής επεξεργασίας (RTP) και οξείδωσης, η υψηλή θερμική αγωγιμότητα της κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου επιτρέπει την ομοιόμορφη κατανομή της θερμοκρασίας στο εσωτερικό του εξοπλισμού. Αυτό βοηθά στη μείωση της θερμικής καταπόνησης και της παραμόρφωσης του υλικού που προκαλείται από τις διακυμάνσεις της θερμοκρασίας, βελτιώνοντας έτσι την ακρίβεια και τη συνοχή της κατασκευής του προϊόντος.

Υποστήριξη σύνθετων περιβαλλόντων διεργασιών:Σε διεργασίες που απαιτούν πολύπλοκο έλεγχο της ατμόσφαιρας, όπως η χάραξη ICP και η χάραξη PSS, η σταθερότητα και η αντίσταση στην οξείδωση της κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου πυριτίου διασφαλίζουν ότι ο εξοπλισμός διατηρεί σταθερή απόδοση σε μακροχρόνια λειτουργία, μειώνοντας τον κίνδυνο υποβάθμισης υλικού ή βλάβης του εξοπλισμού λόγω στις περιβαλλοντικές αλλαγές.