Funktioner:
· Fremragende termisk stødmodstand
· Fremragende fysisk stødmodstand
· Fremragende kemisk resistens
· Super høj renhed
· Tilgængelig i kompleks form
·Anvendes under oxiderende atmosfære
Anvendelse:
Produktegenskaber og fordele:
1. Overlegen termisk modstand:Med en høj renhedSiC belægning, substratet modstår ekstreme temperaturer, hvilket sikrer ensartet ydeevne i krævende miljøer såsom epitaksi og halvlederfremstilling.
2. Forbedret holdbarhed:De SiC-belagte grafitkomponenter er designet til at modstå kemisk korrosion og oxidation, hvilket øger substratets levetid sammenlignet med standardgrafitsubstrater.
3. Glasglasbelagt grafit:Den unikke glasagtige struktur afSiC belægninggiver fremragende overfladehårdhed, minimerer slitage under højtemperaturbehandling.
4. SiC-belægning med høj renhed:Vores substrat sikrer minimal kontaminering i følsomme halvlederprocesser, hvilket giver pålidelighed til industrier, der kræver streng materialerenhed.
5. Bredt markedsapplikation:DeSiC-belagt grafit-susceptormarkedet fortsætter med at vokse, efterhånden som efterspørgslen efter avancerede SiC-belagte produkter inden for halvlederfremstilling stiger, hvilket positionerer dette substrat som en nøglespiller på både markedet for grafitwafer-bærere og markedet for siliciumcarbidbelagte grafitbakker.
Typiske egenskaber for basisgrafitmateriale:
| Tilsyneladende tæthed: | 1,85 g/cm3 |
| Elektrisk modstand: | 11 μΩm |
| Bøjestyrke: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
| Shore hårdhed: | 58 |
| Aske: | <5 ppm |
| Termisk ledningsevne: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning | |
| 性质 / Ejendom | 典型数值 / Typisk værdi |
| 晶体结构 / Krystalstruktur | FCC β fase 多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tæthed | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhed | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / kornstørrelse | 2~10μm |
| 纯度 / Kemisk renhed | 99,99995 % |
| 热容 / Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkt |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
| 导热系数 / Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / termisk ekspansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy er den rigtige producent af skræddersyede grafit- og siliciumcarbidprodukter med forskellige belægninger som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig carbon-belægning, pyrolytisk carbon-belægning osv., kan levere forskellige tilpassede dele til halvleder- og fotovoltaisk industri.
Vores tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsninger til dig.
Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer og har udarbejdet en eksklusiv patenteret teknologi, som kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.
Hjerteligt velkommen til at besøge vores fabrik, lad os have yderligere diskussion!
