SiC belægning/coated grafitsubstrat/bakke til halvleder

Kort beskrivelse:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor for Epitaxial Growth er et højtydende produkt designet til at give ensartet og pålidelig ydeevne over en længere periode.Den har super god varmebestandighed og termisk ensartethed, høj renhed, erosionsbestandighed, hvilket gør den til den perfekte løsning til waferbehandlingsapplikationer.


Produktdetaljer

Produkt Tags

SiC belægning/coated af grafit susceptor til Semiconductor
 
SiC Coated Graphite Susceptor er en nøglekomponent, der bruges i forskellige halvlederfremstillingsprocesser.Vi bruger vores patenterede teknologi til at fremstille siliciumcarbidbæreren med ekstrem høj renhed, god belægningsensartethed og fremragende levetid samt høj kemisk resistens og termiske stabilitetsegenskaber.

 Funktioner: 
· Fremragende termisk stødmodstand
· Fremragende fysisk stødmodstand
· Fremragende kemisk resistens
· Super høj renhed
· Tilgængelig i kompleks form
·Anvendes under oxiderende atmosfære

Ansøgning:

3

Typiske egenskaber for basisgrafitmateriale:

Tilsyneladende tæthed: 1,85 g/cm3
Elektrisk modstand: 11 μΩm
Bøjestyrke: 49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore hårdhed: 58
Aske: <5 ppm
Varmeledningsevne: 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning

性质 / Ejendom

典型数值 / Typisk værdi

晶体结构 / Krystalstruktur

FCC β fase 多晶,主要为(111)取向

密度 / Tæthed

3,21 g/cm³

硬度 / Hårdhed

2500 维氏硬度(500g belastning)

晶粒大小 / kornstørrelse

2~10μm

纯度 / Kemisk renhed

99,99995 %

热容 / Varmekapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Bøjestyrke

415 MPa RT 4-punkt

杨氏模量 / Young's Modulus

430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃

导热系数 / Termisk ledningsevne

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / termisk ekspansion (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

 

VET Energy er den rigtige producent af skræddersyede grafit- og siliciumcarbidprodukter med forskellige belægninger som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig carbon-belægning, pyrolytisk carbon-belægning osv., kan levere forskellige tilpassede dele til halvleder- og fotovoltaisk industri.

Vores tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsninger til dig.

Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer og har udarbejdet en eksklusiv patenteret teknologi, som kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.

Hjerteligt velkommen til at besøge vores fabrik, lad os have yderligere diskussion!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Tidligere:
  • Næste:

  • WhatsApp online chat!