4palcový GaN na SiC Wafer

Krátký popis:

4palcový GaN na SiC destičce VET Energy je revolučním produktem v oblasti výkonové elektroniky. Tento plátek kombinuje vynikající tepelnou vodivost karbidu křemíku (SiC) s vysokou hustotou výkonu a nízkou ztrátou nitridu galia (GaN), díky čemuž je ideální volbou pro výrobu vysokofrekvenčních zařízení s vysokým výkonem. VET Energy zajišťuje vynikající výkon a konzistenci waferu prostřednictvím pokročilé MOCVD epitaxní technologie.


Detail produktu

Štítky produktu

Produktová řada VET Energy není omezena na GaN na SiC waferech. Poskytujeme také širokou škálu polovodičových substrátových materiálů, včetně Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer atd. Kromě toho také aktivně vyvíjíme nové polovodičové materiály s širokým bandgapem, jako je oxid galia Ga2O3 a AlN Wafer, aby vyhověl budoucí poptávce odvětví výkonové elektroniky po zařízeních s vyšším výkonem.

VET Energy poskytuje flexibilní služby přizpůsobení a může přizpůsobit epitaxní vrstvy GaN různých tloušťek, různých typů dopingu a různých velikostí plátků podle specifických potřeb zákazníků. Kromě toho také poskytujeme profesionální technickou podporu a poprodejní servis, abychom zákazníkům pomohli rychle vyvinout vysoce výkonná výkonová elektronická zařízení.

第6页-36
第6页-35

SPECIFIKACE WAFEROVÁNÍ

*n-Pm=n-typ Pm-třída,n-Ps=n-typ Ps-třída,Sl=poloizolační

Položka

8-palcový

6-palcový

4-palcový

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

TTV (GBIR)

≤ 6 um

≤ 6 um

Bow(GF3YFCD) - Absolutní hodnota

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

Warp (GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2μm

Okraj oplatky

Zkosení

POVRCHOVÁ ÚPRAVA

*n-Pm=n-typ Pm-třída,n-Ps=n-typ Ps-třída,Sl=poloizolační

Položka

8-palcový

6-palcový

4-palcový

nP

n-Pm

n-Ps

SI

SI

Povrchová úprava

Oboustranný optický lesk, Si-Face CMP

Drsnost povrchu

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm
C-Face Ra≤ 0,5 nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm
C-Face Ra ≤ 0,5 nm

Hranové čipy

Není povoleno (délka a šířka ≥0,5 mm)

Odrážky

Žádné Povoleno

Škrábance (Si-Face)

Množ.≤5, Kumulativní
Délka≤0,5×průměr destičky

Množ.≤5, Kumulativní
Délka≤0,5×průměr destičky

Množ.≤5, Kumulativní
Délka≤0,5×průměr destičky

Trhliny

Žádné Povoleno

Vyloučení okrajů

3 mm

tech_1_2_size
下载 (2)

  • Předchozí:
  • Další:

  • WhatsApp online chat!