SiC Coating Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

Descrizione breve:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth hè un pruduttu d'altu rendiment cuncepitu per furnisce un rendimentu consistente è affidabile per un periudu allargatu. Hè super bona resistenza à u calore è uniformità termale, alta purezza, resistenza à l'erosione, facendu a suluzione perfetta per l'applicazioni di trasfurmazioni di wafer.

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SiC rivestimentu grafite MOCVD Wafer carriers / susceptor

Tutti i nostri suscettori sò fatti di grafite isostaticu d'alta resistenza. Beneficiate di l'alta purezza di i nostri grafiti - sviluppati soprattuttu per prucessi sfida cum'è epitassi, crescita di cristalli, implantazione di ioni è incisione di plasma, è ancu per a produzzione di chip LED.

Caratteristiche di i nostri prudutti:

1. Resistenza à l'ossidazione alta temperatura finu à 1700 ℃.
2. Purità alta è uniformità termale
3. Eccellente resistenza à a corrosione: acidu, alkali, sali è reagenti organici.
4. Alta durezza, superficia compacta, particelle fini.
5. A vita di serviziu più longa è più durable

CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche basiche di CVD SiCrivestimentu
性质 / Pruprietà	典型数值 / Valore tipicu
晶体结构 / Struttura di Cristalli	FCC phase β多晶，主要为（111）取向
密度 / Densità	3,21 g/cm³
硬度 / Durezza	2500 维氏硬度（500g di carica）
晶粒大小 / Grain Size	2 ~ 10 μm
纯度 / Purezza chimica	99,99995%
热容 / Capacità di calore	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperature di sublimazione	2700 ℃
抗弯强度 / Forza Flexural	415 MPa RT à 4 punti
杨氏模量 / Modulu di Ghjuventù	430 Gpa 4pt curva, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivity	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy hè u veru fabricatore di prudutti persunalizati di grafite è carburu di siliciu cù diversi rivestimenti cum'è rivestimentu SiC, rivestimentu TaC, rivestimentu di carbonu vetru, rivestimentu di carbone piroliticu, etc., pò furnisce diverse parti persunalizate per l'industria semiconductora è fotovoltaica.

A nostra squadra tecnica vene da i migliori istituzioni di ricerca naziunali, ponu furnisce più soluzioni di materiale prufessiunale per voi.

Sviluppemu continuamente prucessi avanzati per furnisce materiali più avanzati, è avemu travagliatu una tecnulugia patentata esclusiva, chì pò fà u ligame trà u revestimentu è u sustrato più strettu è menu propensu à u distaccu.

Un cordiale benvenutu per visità a nostra fabbrica, avemu più discussione!