Features:
· Eccellente Resistenza à u Shock Thermal
· Eccellente resistenza fisica à u scossa
· Eccellente resistenza chimica
· Super High Purity
· Disponibilità in forma cumplessa
·Usable sottu à l'atmosfera ossidante
Applicazione:
Caratteristiche di u produttu è Vantaghji:
1. Superior Resistance Thermal:Cù una alta purezzaRivestimentu SiC, u sustrato resiste à temperature estreme, assicurendu un rendimentu consistente in ambienti esigenti cum'è l'epitassia è a fabricazione di semiconduttori.
2. Durabilità Enhanced:I cumpunenti di grafite rivestiti di SiC sò cuncepiti per resistere à a corrosione chimica è à l'ossidazione, aumentendu a vita di u sustrato cumparatu cù i sustrati di grafite standard.
3. Vitreous Coated Graphite:A struttura vitrea unica di uRivestimentu SiCfurnisce una durezza di a superficia eccellente, minimizendu l'usura durante u processu à alta temperatura.
4. High Purity SiC Coating:U nostru sustrato assicura una contaminazione minima in i prucessi di semiconduttori sensibili, offrendu affidabilità per l'industrii chì necessitanu una purezza di materiale rigorosa.
5. Wide Market Applicazioni:USusceptor di grafite rivestitu di SiCU mercatu cuntinueghja à cresce à u mumentu chì a dumanda di prudutti avanzati rivestiti di SiC in a fabricazione di semiconduttori aumenta, posizionando stu sustrato cum'è un attore chjave sia in u mercatu di trasportatori di wafer di grafite sia in u mercatu di vassoi di grafite rivestiti di carburu di siliciu.
Proprietà tipiche di u materiale di grafite di basa:
Densità apparente: | 1,85 g/cm3 |
Resistività elettrica: | 11 μΩm |
Forza a flessione: | 49 MPa (500 kgf/cm2) |
Durezza Shore: | 58 |
Ash: | < 5 ppm |
Conduttività termica: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
CVD SiC薄膜基本物理性能 Proprietà fisiche basiche di CVD SiCrivestimentu | |
性质 / Pruprietà | 典型数值 / Valore tipicu |
晶体结构 / Crystal Structure | FCC β phase 多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Densità | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Durezza | 2500 维氏硬度(500g di carica) |
晶粒大小 / Grain Size | 2 ~ 10 μm |
纯度 / Purezza chimica | 99,99995% |
热容 / Capacità di calore | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Temperature di sublimazione | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Forza à a flessione | 415 MPa RT à 4 punti |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt curva, 1300 ℃ |
导热系数 / Conduttività termica | 300 W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
VET Energy hè u veru fabricatore di prudutti persunalizati di grafite è carburu di siliciu cù diversi rivestimenti cum'è rivestimentu SiC, rivestimentu TaC, rivestimentu di carbonu vetru, rivestimentu di carbone piroliticu, etc., pò furnisce diverse parti persunalizate per l'industria semiconductora è fotovoltaica.
A nostra squadra tecnica vene da i migliori istituzioni di ricerca naziunali, ponu furnisce più soluzioni di materiale prufessiunale per voi.
Sviluppemu continuamente prucessi avanzati per furnisce materiali più avanzati, è avemu travagliatu una tecnulugia patentata esclusiva, chì pò fà u ligame trà u revestimentu è u sustrato più strettu è menu propensu à u distaccu.
Un cordiale benvenutu per visità a nostra fabbrica, avemu più discussione!