U materiale preferitu per e parti di precisione di e macchine di fotolitografia In u campu di i semiconduttori, i materiali ceramici di carburu di siliciu sò principarmenti usati in l'equipaggiu chjave per a fabricazione di circuiti integrati, cum'è a tavola di travagliu di carburu di siliciu, guide, riflettori, mandrini di aspirazione ceramica, braccia, g...
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