Cumu pulisce a barca di grafite PECVD？| Energia VET

1. Ricunniscenza prima di pulizia

1) Quandu uBarca in grafite PECVD/ carrier hè utilizatu più di 100 à 150 volte, l'operatore hà bisognu di verificà a cundizione di u revestimentu in u tempu. Se ci hè un revestimentu anormali, deve esse puliti è cunfirmatu. U culore di revestimentu normale di l'oblea di siliciu in a barca / trasportatore di grafite hè blu. Se l'ostia ùn hè micca blu, parechji culori, o a diferenza di culore trà l'ostia hè grande, hè un revestimentu anormale, è a causa di l'anormalità deve esse cunfirmata in u tempu.
2) Dopu à u persunale di prucessu analizà a cundizione di rivestimentu di uBarca in grafite PECVD/ carrier, determinaranu se a barca di grafite deve esse pulita è se u puntu di a carta deve esse rimpiazzata, è a barca / trasportatore di grafite chì deve esse pulita serà rimessa à u persunale di l'equipaggiu per a pulizia.

 

3) Dopu àbarca di grafite/carrier hè dannatu, u persunale di pruduzzione caccià tutti i wafers di siliciu in a barca di grafite è aduprà CDA (aria cumpressa) per sorte i frammenti in ubarca di grafite. Dopu à a fine, u persunale di l'equipaggiu l'elevarà in u tank d'acidu chì hè statu preparatu cù una certa proporzione di suluzione HF per a pulizia.

 

2. Pulizia di barca di grafite

Hè ricumandemu d'utilizà una suluzione 15-25% di l'acidu fluoruricu per trè turni di pulizia, ognunu per 4-5 ore, è bolle di nitrogenu periodicamente durante u prucessu di immersione è di pulizia, aghjunghjendu circa una meza ora di pulizia; nota: ùn hè micca cunsigliatu per utilizà l'aria direttamente cum'è a fonte di gasu per u bubbling. Dopu a marinatura, lavate cù acqua pura per circa 10 ore, è cunfirmà chì a barca hè stata pulita bè. Dopu a pulizia, verificate a superficia di a barca, u puntu di a carta di grafite è l'articulazione di u fogliu di a barca, è altre parti per vede s'ellu ci hè residu di nitruru di siliciu. Allora seccu secondu i bisogni.

3. Precauzioni di pulizia

A) Siccomu l'acidu HF hè una sustanza altamente corrosiva è hà una certa volatilità, hè periculosa per l'operatori. Dunque, l'operatori in u postu di pulizia devenu piglià precauzioni di sicurezza è esse gestiti da una persona dedicata.

B) Hè cunsigliatu di disassemble a barca è solu pulisce a parte di grafite durante a pulizia, per chì ogni parte di cuntattu pò esse pulita più currettamente. Attualmente, parechji pruduttori domestici utilizanu a pulizia generale, chì hè cunvenuta, ma perchè l'acidu HF hè corrosiu à i pezzi ceramichi, a pulizia generale accurtà a vita di serviziu di e parti currispundenti.