Applicazione di ceramica di carburu di siliciu in u campu di i semiconduttori

U materiale preferitu per e parti di precisione di macchine di fotolitografia

In u campu di i semiconduttori,ceramica di carburu di siliciumI materiali sò principarmenti aduprati in l'equipaggiu chjave per a fabricazione di circuiti integrati, cum'è a tavola di travagliu di carburu di siliciu, rails di guida,riflettori, mandrino di aspirazione ceramica, braccia, dischi di smerigliatura, apparecchi, ecc. per lithography machines.

Parti ceramiche di carburu di siliciumper i semiconduttori è l'equipaggiu otticu

● Carburo di silicium discu di macinazione ceramica. Se u discu di macinazione hè fattu di ghisa o azzaru di carbone, a so vita di serviziu hè corta è u so coefficient di espansione termale hè grande. Durante a trasfurmazioni di wafers di siliciu, in particulare durante a mola o lucidatura à alta velocità, l'usura è a deformazione termica di u discu di sgrossatura facenu difficiule di assicurà a piattezza è u parallelismu di l'ostia di silicu. U discu di macinazione fattu di ceramica di carburu di silicuu hà una durezza alta è una bassa usura, è u coefficient di espansione termale hè basicamente uguale à quellu di i wafers di silicium, cusì pò esse macinatu è lucidatu à alta velocità.
● Apparizione ceramica di carburu di silicium. Inoltre, quandu i wafers di siliciu sò pruduciuti, anu bisognu di trattamentu termale à alta temperatura è sò spessu trasportati cù l'apparecchi di carburu di silicium. Sò resistenti à u calore è micca distruttivi. U carbone di diamante (DLC) è altri rivestimenti ponu esse appiicati nantu à a superficia per rinfurzà u rendiment, alleviate i danni di wafer, è impediscenu a contaminazione da sparghje.
● Tavola di travagliu di carburu di silicium. Pigliendu a tavola di travagliu in a macchina di litografia cum'è un esempiu, a tavola di travagliu hè principarmenti rispunsevuli di cumpiendu u muvimentu di l'esposizione, esigendu un muvimentu ultra-precisione d'alta velocità, grande corsa, sei gradi di libertà. Per esempiu, per una macchina di litografia cù una risoluzione di 100 nm, una precisione di sovrapposizione di 33 nm, è una larghezza di linea di 10 nm, a precisione di posizionamentu di a tavola di travagliu hè necessaria per ghjunghje à 10 nm, a velocità di scansione è di scansione simultanea di l'ostia di maschera-silicu sò 150 nm / s. è 120nm / s rispettivamente, è a velocità di scansione di maschera hè vicinu à 500nm/s, è a tavola di travagliu hè necessaria per avè una precisione è stabilità di muvimentu assai alta.

Schema schematicu di a tavola di travagliu è a tavola di micro-movimentu (sezzione parziale)

● carbure di silicium specchiu quadru di ceramica. I cumpunenti chjave in l'equipaggiu di circuiti integrati chjave, cum'è e macchine di litografia, anu forme cumplesse, dimensioni cumplesse è strutture ligere cave, chì facenu difficiule di preparà tali cumpunenti ceramichi di carburu di siliciu. Attualmente, i pruduttori di l'equipaggiu di circuiti integrati internaziunali mainstream, cum'è ASML in l'Olanda, NIKON è CANON in Giappone, utilizanu una grande quantità di materiali cum'è u vetru microcristalinu è a cordierite per preparà specchi quadrati, i cumpunenti core di e macchine di litografia, è utilizanu carburu di siliciu. ceramica per preparà altri cumpunenti strutturale d'altu rendiment cù forme simplici. Tuttavia, l'esperti di u China Building Materials Research Institute anu utilizatu a tecnulugia di preparazione proprietaria per ottene a preparazione di specchi quadrati di ceramica di carburu di silicuu cumpletamente chjusi, di grande dimensione, cumplessu, assai leggeri è altri cumpunenti ottici strutturali è funziunali per e macchine di litografia.