0 Chì sò i sei sistemi di una sola furnace di cristallu

Una sola furnace di cristallu hè un dispusitivu chì usa ariscaldatore di grafitea melt materiali silicium polycrystalline in un ambienti di gas inerte (argon) è usa u mètudu Czochralski à cresce cristalli unicu non-dislocated. Hè cumpostu principalmente di i seguenti sistemi:

Sistema di trasmissione meccanica

U sistema di trasmissione meccanica hè u sistema operatore di basa di u fornu di cristalli unicu, chì hè principalmente rispunsevule per cuntrullà u muvimentu di i cristalli ècruciuli, cumprese l'elevazione è a rotazione di i cristalli di sementi è l'elevazione è a rotazione dicruciuli. Pò aghjustà accuratamente i paràmetri, cum'è a pusizione, a velocità è l'angolo di rotazione di i cristalli è i crucibles per assicurà u prugressu lisu di u prucessu di crescita di cristalli. Per esempiu, in diverse tappe di crescita di cristalli cum'è seeding, necking, shouldering, uguali diametru di crescita è tailing, u muvimentu di cristalli di sementi è crucibles deve esse cuntrullatu accuratamente da stu sistema per risponde à i bisogni di u prucessu di crescita di cristalli.

Sistema di cuntrollu di temperatura di riscaldamentu

Questu hè unu di i sistemi core di u fornu di cristallo unicu, chì hè utilizatu per generà calore è cuntrullà accuratamente a temperatura in u fornu. Hè cumpostu principarmenti di cumpunenti cum'è riscaldatori, sensori di temperatura, è controller di temperatura. U riscaldatore hè generalmente fattu di materiali cum'è grafite d'alta purezza. Dopu chì a corrente alternante hè trasfurmata è ridutta per aumentà u currente, u riscaldatore genera calore per fonde materiali policristallini cum'è polysilicon in u crucible. U sensoru di temperatura monitoreghja i cambiamenti di temperatura in u fornu in tempu reale è trasmette u signale di temperatura à u controller di temperatura. U controller di temperatura cuntrolla accuratamente a putenza di riscaldamentu secondu i paràmetri di temperatura stabiliti è u signale di temperatura di feedback, mantenendu cusì a stabilità di a temperatura in u fornu è furnisce un ambiente di temperatura adattatu per a crescita di cristalli.

Sistema di vacuum

A funzione principale di u sistema di vacuum hè di creà è mantene un ambiente di vacuum in u furnace durante u prucessu di crescita di cristalli. I gasi di l'aria è di l'impurità in u fornu sò estratti da e pompe di vacuum è altri equipaghji per fà chì a pressione di gas in u fornu ghjunghje à un livellu estremamente bassu, in generale sottu à 5TOR (torr). Questu pò impedisce chì u materiale di siliciu sia oxidatu à temperature elevate è assicurà a purità è a qualità di a crescita di cristalli. À u listessu tempu, l'ambiente di vacuum hè ancu favuritu per sguassà impurità volatili generati durante u prucessu di crescita di cristalli è migliurà a qualità di u cristallu.

sistema Argon

U sistema di argon ghjoca un rolu in a prutezzione è a regulazione di a pressione in u fornu in u fornu di cristallo unicu. Dopu à vacuuming, high-purità gas argon (purità deve esse sopra 6 9) hè pienu in u furnace. Da una banda, pò impedisce chì l'aria esterna entre in u furnace è impedisce chì i materiali di siliciu sò oxidati; per d 'altra banda, u riempimentu di gas argon pò mantene a pressione in u fornu stabile è furnisce un ambiente di pressione adattatu per a crescita di cristalli. Inoltre, u flussu di gas argon pò ancu caccià u calore generatu durante u prucessu di crescita di cristalli, ghjucà un certu rolu di rinfrescante.

Sistema di rinfrescamentu d'acqua

A funzione di u sistema di rinfrescante d'acqua hè di rinfriscà i diversi cumpunenti à alta temperatura di u fornu di cristallo unicu per assicurà u funziunamentu normale è a vita di serviziu di l'equipaggiu. Durante u funziunamentu di u fornu unicu cristallu, u riscaldatore,crogiole, l'elettrodu è altri cumpunenti generaranu assai calore. Se ùn sò micca rinfriscati in u tempu, l'equipaggiu si surriscaldarà, deformarà o ancu esse danatu. U sistema di rinfrescante di l'acqua elimina u calore di questi cumpunenti circulandu l'acqua di rinfrescante per mantene a temperatura di l'equipaggiu in un intervallu sicuru. À u listessu tempu, u sistema di rinfrescante di l'acqua pò ancu aiutà à aghjustà a temperatura in u fornu per migliurà a precisione di u cuntrollu di a temperatura.

Sistema di cuntrollu elettricu

U sistema di cuntrollu elettricu hè u "cervellu" di u fornu di cristallo unicu, rispunsevuli di monitorà è cuntrullà l'operazione di tuttu l'equipaggiu. Si pò riceve segnali da parechji sensors, cum'è sensors temperature, pressure sensors, sensors pusizioni, etc., è coordinate è cuntrullà u sistema di trasmissioni miccanicu, sistema di cuntrollu di temperatura di riscaldamentu, sistema di vacuum, sistema argon è sistema di rinfrescante acqua basatu nantu à sti signali. Per esempiu, durante u prucessu di crescita di cristalli, u sistema di cuntrollu elettricu pò aghjustà automaticamente a putenza di riscaldamentu secondu u signale di temperatura alimentatu da u sensor di temperatura; secondu a crescita di u cristallu, pò cuntrullà a vitezza di u muvimentu è l'angolo di rotazione di u cristallu di sumente è u crucible. À u listessu tempu, u sistema di cuntrollu elettricu hà ancu funzioni di diagnostica di difetti è di alarme, chì ponu detectà cundizioni anormali di l'equipaggiu in tempu è assicurà u funziunamentu sicuru di l'equipaggiu.