E funzioni principali dibarca di carburu di siliciusupportu è supportu di barca di quartz sò listessi.Barca di carburu di siliciuU supportu hà prestazioni eccellenti ma prezzu altu. Custituisce una relazione alternativa cù u supportu di barca di quartz in l'equipaggiu di trasfurmazioni di batterie cù cundizioni di travagliu duri (cum'è l'equipaggiu LPCVD è l'equipaggiu di diffusione di boru). In l'equipaggiu di trasfurmazioni di batterie cù e cundizioni di travagliu ordinariu, per via di relazioni di prezzu, u carburu di siliciu è u supportu di barca di quartz diventanu categurie coesistenti è cumpetitive.
① Relazione di sustituzione in LPCVD è l'equipaggiu di diffusione di boru
L'equipaggiu LPCVD hè utilizzatu per l'ossidazione di tunneling di cellule di batteria è u prucessu di preparazione di strati di polisilicuu dopatu. Principiu di travagliu:
Sutta l'atmosfera di bassa pressione, cumminata cù a temperatura adatta, a reazione chimica è a furmazione di film di deposizione sò ottenute per preparà una strata d'ossidu di tunneling ultra-sottile è una film di polisilicu. In u prucessu di l'ossidazione di u tunneling è u prucessu di preparazione di strati di polisiliconu dopatu, u supportu di a barca hà una temperatura di travagliu alta è una film di siliciu serà dipositu nantu à a superficia. U coefficient di espansione termale di quartz hè assai sfarente da quellu di silicium. Quandu s'utilice in u prucessu di sopra, hè necessariu di scaccià regularmente è caccià u siliciu dipositu nantu à a superficia per impedisce chì u supportu di a barca di quartz si rompe per via di l'espansione termica è a cuntrazione per via di u differente coefficient di espansione termica da u siliciu. A causa di frequente pickling è bassa forza di alta temperatura, u supportu di barca di quartz hà una vita corta è hè spessu rimpiazzatu in u prucessu di preparazione di strati di polisiliconu dopatu è di ossidazione di u tunnel, chì aumenta significativamente u costu di pruduzzione di a cellula di batteria. U coefficient di espansione dicarburu di siliciuhè vicinu à quellu di u siliciu. U integratubarca di carburu di siliciuu titularu ùn hà micca bisognu di decapaggio in l'ossidazione di u tunnel è di u prucessu di preparazione di strati di polisiliconu dopatu. Hà una forza alta à alta temperatura è una longa vita di serviziu. Hè una bona alternativa à u supportu di barca di quartz.
L'equipaggiu di espansione di boru hè principalmente utilizatu per u prucessu di doping di elementi di boru nantu à u sustrato di wafer di siliciu N-tipu di a cellula di batteria per preparà l'emettitore di tipu P per furmà una junction PN. U principiu di travagliu hè di rializà a reazzione chimica è a furmazione di film di deposizione moleculare in una atmosfera à alta temperatura. Dopu chì a film hè furmata, pò esse diffusa da u riscaldamentu à alta temperatura per rializà a funzione di doping di a superficia di l'ostia di siliciu. A causa di l'alta temperatura di travagliu di l'equipaggiu di espansione di boru, u supportu di barca di quartz hà una forza bassa à alta temperatura è una corta vita di serviziu in l'equipaggiu di espansione di boru. U integratubarca di carburu di siliciuholder hà una forza alta-temperature alta è hè una bona alternativa à u supportu di barca di quartz in u prucessu di espansione di boru.
② Relazione di sustituzione in altri equipaghji di prucessu
I supporti di barca SiC anu una capacità di produzzione stretta è un rendimentu eccellente. U so prezzu hè generalmente più altu ch'è quellu di i supporti di barca di quartz. In e cundizioni di travagliu generale di l'equipaggiu di trasfurmazioni di cellula, a diffarenza di a vita di serviziu trà i supporti di barca SiC è i supporti di barca di quartz hè chjuca. I clienti downstream principarmenti paragunate è sceglienu trà u prezzu è u rendiment basatu nantu à i so prucessi è bisogni. I supporti di barca SiC è i supporti di barca di quartz sò diventati coexistenti è cumpetitivi. In ogni casu, u marghjenu di prufittu grossu di i supporti di barca SiC hè relativamente altu à u mumentu. Cù a diminuzione di u costu di pruduzzione di supporti di barca SiC, se u prezzu di vendita di supporti di barca SiC diminuisce attivamente, ancu poserà una competitività maiò à i supporti di barca di quartz.
Rapportu di usu
A strada di a tecnulugia cellula hè principalmente a tecnulugia PERC è a tecnulugia TOPCon. A parte di u mercatu di a tecnulugia PERC hè di 88%, è a cota di mercatu di a tecnulugia TOPCon hè di 8,3%. A quota di mercatu cumminata di i dui hè 96,30%.
Cum'è mostra in a figura sottu:
In a tecnulugia PERC, i supporti di barca sò necessarii per a diffusione di fosforu frontale è i prucessi di annealing. In a tecnulugia TOPCon, i supporti di barca sò necessarii per a diffusione di boru frontale, LPCVD, diffusione di fosforu in daretu è prucessi di annealing. Attualmente, i supporti di barca di carburu di siliciu sò principalmente usati in u prucessu LPCVD di a tecnulugia TOPCon, è a so applicazione in u prucessu di diffusione di boru hè stata verificata principalmente.
Figura Applicazione di supporti barca in u prucessu di trasfurmazioni cellula
Nota: Dopu à u revestimentu frontale è posteriore di e tecnulugii PERC è TOPCon, ci sò sempre ligami cum'è serigrafia, sinterizzazione è teste è classificazione, chì ùn implicanu micca l'usu di supporti di barca è ùn sò micca listati in a figura sopra.
Tempu di post: 15-10-2024