Suscettore di barile per l'epitassia in fase liquida LPE

Suscettore di canna per epitassi in fase liquida LPE

EPI (Epitassia)hè un prucessu criticu in a fabricazione di semiconduttori avanzati. Implica a deposizione di strati sottili di materiale nantu à un sustrato per creà strutture cumplessi di dispositivi. I suscettori di barile di grafite rivestiti di SiC per EPI sò comunmente usati cum'è suscettori in i reattori EPI per via di a so eccellente conduttività termica è a resistenza à e alte temperature. CùRivestimentu CVD-SiC, diventa più resistente à a contaminazione, l'erosione è u scossa termale. Questu risultatu in una vita di vita più longa per u susceptor è a qualità di film mejorata.

Vantaggi di u nostru susceptor di canna per l'epitassi in fase liquida LPE:
Contaminazione ridutta:A natura inerte di SiC impedisce l'impurità di aderisce à a superficia susceptor, riducendu u risicu di contaminazione di i filmi depositati.
Aumenta a resistenza à l'erosione:SiC hè significativamente più resistente à l'erosione cà u grafite convenzionale, chì porta à una vita più longa per u susceptor.
Stabilità Termale Migliurata:SiC hà una conductività termale eccellente è pò sustene a temperatura elevata senza distorsioni significativa.
Qualità di film migliorata:A stabilità termica mejorata è a contaminazione ridotta risultanu in filmi dipositati di qualità superiore cù uniformità è cuntrollu di spessore mejorati.