VET EnergiaSafata de grafit amb recobriment de carbur de silici, Plate i Cover està dissenyat per oferir un rendiment de primer nivell, proporcionant un funcionament fiable i coherent durant un ús prolongat, cosa que la converteix en una opció essencial per a les aplicacions de processament d'hòsties a la indústria dels semiconductors. Aquest d'alt rendimentPlaca de grafit de recobriment de carbur de silicicompta amb una resistència a la calor excepcional, una uniformitat tèrmica superior i una estabilitat química excepcional, especialment en condicions d'alta temperatura. La seva construcció d'alta puresa, juntament amb una avançada resistència a l'erosió, la fan indispensable per a entorns exigents com araSusceptors MOCVD.
Característiques clau de la safata, la placa i la coberta de grafit de recobriment de carbur de silici
1. Resistència a l'oxidació a alta temperatura:Suporta temperatures de fins a 1700 ℃, cosa que li permet funcionar de manera fiable en condicions extremes.
2. Alta puresa i uniformitat tèrmica:Una puresa constant i una distribució uniforme de la calor són crucials per a les aplicacions MOCVD.
3. Resistència a la corrosió excepcional:Resistent als àcids, àlcalis, sals i diversos reactius orgànics, assegurant una estabilitat a llarg termini en diversos entorns.
4. Alta duresa i superfície compacta:Presenta una superfície densa amb partícules fines, millorant la durabilitat general i la resistència al desgast.
5. Vida útil ampliada:Dissenyat per a la longevitat, superant els convencionalssusceptors de grafit recoberts de carbur de silicien entorns durs de processament de semiconductors.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Propietats físiques bàsiques de CVD SiCrecobriment | |
性质 / Propietat | 典型数值 / Valor típic |
晶体结构 / Estructura de cristall | Fase β de la FCC多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Densitat | 3,21 g/cm³ |
硬度 / Duresa | 2500 维氏硬度(càrrega de 500 g) |
晶粒大小 / Mida del gra | 2 ~ 10 μm |
纯度 / Puresa química | 99,99995% |
热容 / Capacitat calorífica | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Temperatura de sublimació | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Resistència a la flexió | 415 MPa RT de 4 punts |
杨氏模量 / Mòdul de joventut | 430 Gpa de 4 punts, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalConductivitat | 300 W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Expansió tèrmica (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
L'experiència de VET Energy en solucions personalitzades de grafit i carbur de silici
Com a fabricant de confiança, VET Energy s'especialitza en susceptors de grafit dissenyats a mida i solucions de recobriment de carbur de silici. Oferim una gamma de productes fets a mida per a les indústries de semiconductors i fotovoltaica, incloentComponents de grafit recoberts de SiCcom safates, plats i cobertes. La nostra línia de productes també inclou diverses opcions de recobriment, com araRecobriment de SiC per MOCVD, Recobriment de TaC, recobriment de carboni vidre, i recobriment de carboni pirolític, assegurant que complim les diferents demandes de les indústries d'alta tecnologia.
El nostre equip tècnic experimentat, format per experts de les principals institucions de recerca nacionals, ofereix solucions de materials integrals als clients. Refinem contínuament els nostres processos avançats, inclosa una tecnologia patentada exclusiva que millora la unió entre el recobriment de carbur de silici i el substrat de grafit, reduint el risc de despreniment i allargant encara més la vida útil del producte.
Aplicacions i Beneficis en la Fabricació de Semiconductors
ElRecobriment de carbur de silici per MOCVDfa que aquests susceptors de grafit siguin molt efectius en entorns corrosius i d'alta temperatura. Tant si s'utilitzen com a suports d'hòsties de grafit com a altres components MOCVD, aquests susceptors recoberts de carbur de silici demostren una durabilitat i un rendiment superiors. Per a aquells que busquen solucions fiables en elSusceptor de grafit recobert de SiCmercat, la safata, la placa i la coberta de grafit recobertes de carbur de silici de VET Energy ofereixen una opció robusta i versàtil que compleix les rigoroses demandes de la indústria dels semiconductors.
En centrar-se en la ciència dels materials avançats, VET Energy es compromet a oferir solucions de grafit recobertes de SiC d'alt rendiment que impulsin la innovació en el processament de semiconductors i garanteixen un rendiment fiable en totes les aplicacions relacionades amb MOCVD.
VET Energy és l'autèntic fabricant de productes personalitzats de grafit i carbur de silici amb diferents recobriments com el recobriment de SiC, el recobriment de TaC, el recobriment de carboni vidre, el recobriment de carboni pirolític, etc., pot subministrar diverses peces personalitzades per a la indústria de semiconductors i fotovoltaica.
El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals, us pot oferir solucions materials més professionals.
Desenvolupem contínuament processos avançats per proporcionar materials més avançats, i hem elaborat una tecnologia patentada exclusiva, que pot fer que la unió entre el recobriment i el substrat sigui més estreta i menys propensa al despreniment.
Us donem la benvinguda a visitar la nostra fàbrica, anem a parlar més!