Revestiment de SiC Graphit MOCVD Wafer Carriers Susceptors

Revestiment de SiC Grafit MOCVD Portadors d'hòsties Susceptors Imatge destacada

Descripció breu:

El susceptor MOCVD recobert de VET Energy SiC per al creixement epitaxial és un producte d'alt rendiment dissenyat per oferir un rendiment constant i fiable durant un període prolongat. Té una molt bona resistència a la calor i uniformitat tèrmica, alta puresa i resistència a l'erosió, cosa que la converteix en la solució perfecta per a aplicacions de processament d'hòsties.

Envieu-nos un correu electrònic Descarrega com a PDF

Detall del producte

Etiquetes de producte

Revestiment de SiC grafit MOCVD Wafer portadors/susceptor

Tots els nostres susceptors estan fets de grafit isostàtic d'alta resistència. Beneficieu-vos de l'alta puresa dels nostres grafits, desenvolupats especialment per a processos difícils com l'epitaxia, el creixement de cristalls, la implantació d'ions i el gravat per plasma, així com per a la producció de xips LED.

Característiques dels nostres productes:

1. Resistència a l'oxidació a alta temperatura fins a 1700 ℃.
2. Alta puresa i uniformitat tèrmica
3. Excel·lent resistència a la corrosió: àcid, àlcali, sal i reactius orgànics.
4. Alta duresa, superfície compacta, partícules fines.
5. Vida útil més llarga i més duradora

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propietats físiques bàsiques de CVD SiCrecobriment
性质 / Propietat	典型数值 / Valor típic
晶体结构 / Estructura de cristall	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitat	3,21 g/cm³
硬度 / Duresa	2500 维氏硬度（càrrega de 500 g）
晶粒大小 / Mida del gra	2 ~ 10 μm
纯度 / Puresa química	99,99995%
热容 / Capacitat calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimació	2700 ℃
抗弯强度 / Resistència a la flexió	415 MPa RT de 4 punts
杨氏模量 / Mòdul de joventut	430 Gpa de 4 punts, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivitat	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansió tèrmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy és l'autèntic fabricant de productes personalitzats de grafit i carbur de silici amb diferents recobriments com el recobriment de SiC, el recobriment de TaC, el recobriment de carboni vidre, el recobriment de carboni pirolític, etc., pot subministrar diverses peces personalitzades per a la indústria de semiconductors i fotovoltaica.

El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals, us pot oferir solucions materials més professionals.

Desenvolupem contínuament processos avançats per proporcionar materials més avançats, i hem elaborat una tecnologia patentada exclusiva, que pot fer que la unió entre el recobriment i el substrat sigui més estreta i menys propensa al despreniment.

Us donem la benvinguda a visitar la nostra fàbrica, anem a parlar més!