Com netejar el vaixell de grafit PECVD？| VET Energia

1. Reconeixement abans de netejar

1) Quan elVaixell de grafit PECVD/carrier s'utilitza més de 100 a 150 vegades, l'operador ha de comprovar l'estat del recobriment a temps. Si hi ha un recobriment anormal, cal netejar-lo i confirmar-lo. El color normal del recobriment de l'hòstia de silici al vaixell/portador de grafit és blau. Si l'hòstia té diversos colors no blaus, o la diferència de color entre les hòsties és gran, es tracta d'un recobriment anormal i la causa de l'anormalitat s'ha de confirmar a temps.
2) Després del procés, el personal analitza l'estat del recobrimentVaixell de grafit PECVD/carrier, determinaran si cal netejar el vaixell de grafit i si cal substituir el punt de la targeta, i el vaixell/portador de grafit que cal netejar es lliurarà al personal de l'equip per a la seva neteja.

 

3) Després delvaixell de grafit/portador està danyat, el personal de producció traurà totes les hòsties de silici del vaixell de grafit i utilitzarà CDA (aire comprimit) per classificar els fragments del vaixell.vaixell de grafit. Un cop finalitzat, el personal de l'equip l'aixecarà al dipòsit d'àcid que s'ha preparat amb una determinada proporció de solució HF per a la neteja.

 

2. Neteja de vaixell de grafit

Es recomana utilitzar una solució d'àcid fluorhídric al 15-25% durant tres rondes de neteja, cadascuna durant 4-5 hores, i fer bombolles de nitrogen periòdicament durant el procés de remull i neteja, afegint aproximadament mitja hora de neteja; nota: no es recomana utilitzar l'aire directament com a font de gas per fer bombolles. Després del decapat, esbandiu amb aigua pura durant unes 10 hores i confirmeu que l'embarcació s'ha netejat a fons. Després de la neteja, si us plau, comproveu la superfície de l'embarcació, el punt de la targeta de grafit i la junta de la làmina de l'embarcació i altres parts per veure si hi ha residus de nitrur de silici. A continuació, assequeu segons els requisits.

3. Precaucions de neteja

A) Com que l'àcid HF és una substància altament corrosiva i té una certa volatilitat, és perillós per als operadors. Per tant, els operaris del lloc de neteja han de prendre precaucions de seguretat i ser gestionats per una persona dedicada.

B) Es recomana desmuntar el vaixell i netejar només la part de grafit durant la neteja, de manera que cada part de contacte es pugui netejar més a fons. Actualment, molts fabricants nacionals utilitzen una neteja general, que és convenient, però com que l'àcid HF és corrosiu per a les peces ceràmiques, la neteja general escurçarà la vida útil de les peces corresponents.