vet-china osigurava da svaki DurableLopatica za rukovanje pločicama od silicijum karbidaima odlične performanse i izdržljivost. Ovo veslo za rukovanje pločicama od silicijum karbida koristi napredne proizvodne procese kako bi osiguralo da njegova strukturna stabilnost i funkcionalnost ostanu u okruženju visoke temperature i hemijske korozije. Ovaj inovativni dizajn pruža odličnu podršku za rukovanje poluvodičkim pločicama, posebno za visokoprecizne automatizirane operacije.
SiC konzolno vesloje specijalizovana komponenta koja se koristi u opremi za proizvodnju poluprovodnika kao što su peći za oksidaciju, difuzione peći i peći za žarenje, glavna upotreba je za punjenje i istovar pločica, podržava i transportuje pločice tokom procesa visoke temperature.
Zajedničke struktureofSiCcantileverpaddle: konzolna konstrukcija, fiksirana na jednom kraju i slobodna na drugom, obično ima ravan dizajn nalik na veslo.
RadniprincipleofSiCcantileverpaddle:
Konzolna lopatica se može pomicati gore-dolje ili naprijed-nazad unutar komore peći, može se koristiti za pomicanje vafla iz područja utovara u područja obrade, ili izvan područja obrade, podržavajući i stabilizirajući vafle tokom obrade na visokim temperaturama.
| Fizička svojstva rekristaliziranog silicijum karbida | |
| Nekretnina | Tipična vrijednost |
| Radna temperatura (°C) | 1600°C (sa kiseonikom), 1700°C (reducirajuća sredina) |
| Sadržaj SiC | > 99,96% |
| Besplatan Si sadržaj | < 0,1% |
| Nasipna gustina | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Prividna poroznost | < 16% |
| Snaga kompresije | > 600 MPa |
| Čvrstoća na hladno savijanje | 80-90 MPa (20°C) |
| Čvrstoća na toplo savijanje | 90-100 MPa (1400°C) |
| Toplotna ekspanzija @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Toplotna provodljivost @1200°C | 23 W/m•K |
| Modul elastičnosti | 240 GPa |
| Otpornost na toplotni udar | Izuzetno dobro |
