grijač sa keramičkim premazom od silicijum karbida

Vet-KinaSilicijum karbidna keramikaCoating je zaštitni premaz visokih performansi izrađen od izuzetno tvrdog i otpornog na habanjesilicijum karbid (SiC)materijal, koji pruža odličnu otpornost na hemijsku koroziju i stabilnost na visokim temperaturama. Ove karakteristike su ključne u proizvodnji poluprovodnika, dakleKeramički premaz od silicijum karbidase široko koristi u ključnim komponentama opreme za proizvodnju poluvodiča.

Specifična uloga Vet-ChinaSilicijum karbidna keramikaPremazivanje u proizvodnji poluprovodnika je kako slijedi:

Povećajte izdržljivost opreme:Keramički premaz od silicijum karbida Keramički premaz od silicijum karbida pruža odličnu površinsku zaštitu opreme za proizvodnju poluprovodnika sa svojom izuzetno visokom tvrdoćom i otpornošću na habanje. Posebno u visokotemperaturnim i visoko korozivnim procesnim okruženjima, kao što su hemijsko taloženje pare (CVD) i jetkanje plazmom, premaz može efikasno sprečiti oštećenje površine opreme hemijskom erozijom ili fizičkim habanjem, čime se značajno produžava životni vek uređaja. opreme i smanjenje vremena zastoja uzrokovanog čestim zamjenama i popravkama.

Poboljšajte čistoću procesa:U procesu proizvodnje poluvodiča, sitna kontaminacija može uzrokovati defekte proizvoda. Hemijska inertnost keramičkog premaza od silicijum karbida omogućava mu da ostane stabilan u ekstremnim uslovima, sprečavajući materijal da otpusti čestice ili nečistoće, čime se obezbeđuje ekološka čistoća procesa. Ovo je posebno važno za proizvodne korake koji zahtijevaju visoku preciznost i visoku čistoću, kao što su PECVD i jonska implantacija.

Optimizirajte upravljanje toplinom:U visokotemperaturnoj obradi poluprovodnika, kao što je brza termička obrada (RTP) i procesi oksidacije, visoka toplotna provodljivost keramičkog premaza od silicijum karbida omogućava ravnomernu distribuciju temperature unutar opreme. Ovo pomaže u smanjenju toplinskog naprezanja i deformacije materijala uzrokovane temperaturnim fluktuacijama, čime se poboljšava točnost i konzistentnost proizvodnje proizvoda.

Podrška složenim procesnim okruženjima:U procesima koji zahtijevaju složenu kontrolu atmosfere, kao što su procesi ICP jetkanja i PSS jetkanja, stabilnost i otpornost na oksidaciju keramičkog premaza od silicijum karbida osiguravaju da oprema održava stabilne performanse u dugotrajnom radu, smanjujući rizik od degradacije materijala ili oštećenja opreme zbog na promene životne sredine.