The AdvancedSiC konzolno veslofor Wafer Processing kreiran od strane vet-china pruža odlično rješenje za proizvodnju poluvodiča. Ova konzolna lopatica je napravljena od SiC (silicijum karbida) materijala, a njegova visoka tvrdoća i otpornost na toplotu omogućavaju da održi odlične performanse u visokim temperaturama i korozivnim okruženjima. Dizajn konzolne lopatice omogućava da se pločica pouzdano podupre tokom obrade, smanjujući rizik od fragmentacije i oštećenja.
SiC konzolno vesloje specijalizovana komponenta koja se koristi u opremi za proizvodnju poluprovodnika kao što su peći za oksidaciju, difuzione peći i peći za žarenje, glavna upotreba je za punjenje i istovar pločica, podržava i transportuje pločice tokom procesa visoke temperature.
Zajedničke struktureofSiCcantileverpaddle: konzolna konstrukcija, fiksirana na jednom kraju i slobodna na drugom, obično ima ravan dizajn nalik na veslo.
VET Energy koristi rekristalizovane silicijum karbidne materijale visoke čistoće kako bi garantovao kvalitet.
| Fizička svojstva rekristaliziranog silicijum karbida | |
| Nekretnina | Tipična vrijednost |
| Radna temperatura (°C) | 1600°C (sa kiseonikom), 1700°C (reducirajuća sredina) |
| Sadržaj SiC | > 99,96% |
| Besplatan Si sadržaj | < 0,1% |
| Nasipna gustina | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Prividna poroznost | < 16% |
| Snaga kompresije | > 600MPa |
| Čvrstoća na hladno savijanje | 80-90 MPa (20°C) |
| Čvrstoća na toplo savijanje | 90-100 MPa (1400°C) |
| Toplotna ekspanzija @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Toplotna provodljivost @1200°C | 23W/m•K |
| Modul elastičnosti | 240 GPa |
| Otpornost na toplotni udar | Izuzetno dobro |
Prednosti napredne SiC konzolne lopatice VET Energy za obradu pločica su:
-Stabilnost na visokim temperaturama: može se koristiti u okruženjima iznad 1600°C;
-Nizak koeficijent termičke ekspanzije: održava dimenzijsku stabilnost, smanjujući rizik od savijanja pločice;
-Visoka čistoća: manji rizik od kontaminacije metalom;
- Hemijska inertnost: otporan na koroziju, pogodan za različite gasne sredine;
-Visoka čvrstoća i tvrdoća: Otporan na habanje, dug radni vijek;
-Dobra toplotna provodljivost: pomaže u ravnomernom zagrevanju vafla.
