Kako očistiti PECVD grafitni čamac？| VET Energy

1. Potvrda prije čišćenja

1) Kada jePECVD grafitni čamac/nosač se koristi više od 100 do 150 puta, operater mora na vrijeme provjeriti stanje premaza. Ako postoji nenormalan premaz, potrebno ga je očistiti i potvrditi. Normalna boja premaza silikonske pločice u grafitnom čamcu/nosaču je plava. Ako napolitanka nije plava, ima više boja ili je razlika u boji između vafla velika, radi se o abnormalnom premazu i potrebno je na vrijeme potvrditi uzrok abnormalnosti.
2) Nakon što procesno osoblje analizira stanje premazaPECVD grafitni čamac/nosač, utvrdiće da li je potrebno očistiti grafitni čamac i da li je potrebno zamijeniti kartoteku, a grafitni čamac/nosač koji treba očistiti predati osoblju opreme na čišćenje.

 

3) Nakongrafitni brod/nosač je oštećen, proizvodno osoblje će izvaditi sve silikonske pločice u grafitnom čamcu i koristiti CDA (komprimirani zrak) da razvrstane fragmente ugrafitni brod. Nakon završetka, osoblje opreme će je podići u rezervoar za kiselinu koji je pripremljen sa određenom proporcijom HF rastvora za čišćenje.

 

2. Čišćenje grafitnog čamca

Preporučljivo je koristiti 15-25% rastvor fluorovodonične kiseline za tri kruga čišćenja, svaki po 4-5 sati, i periodično puštati azot tokom procesa namakanja i čišćenja, uz dodavanje oko pola sata čišćenja; Napomena: nije preporučljivo koristiti zrak direktno kao izvor plina za stvaranje mjehurića. Nakon kiseljenja isperite čistom vodom oko 10 sati i potvrdite da je čamac temeljito očišćen. Nakon čišćenja provjerite površinu čamca, vrh grafitne kartice i spoj ploče za čamac, te ostale dijelove da vidite ima li ostataka silicijum nitrida. Zatim osušite prema zahtjevima.

3. Mjere predostrožnosti za čišćenje

A) Pošto je HF kiselina vrlo korozivna supstanca i ima određenu isparljivost, opasna je za operatere. Stoga, operateri na mjestu čišćenja moraju poduzeti sigurnosne mjere i njima će upravljati posebna osoba.

B) Preporučljivo je rastaviti čamac i očistiti samo grafitni dio tokom čišćenja, kako bi se svaki kontaktni dio mogao temeljitije očistiti. Trenutno mnogi domaći proizvođači koriste opšte čišćenje, što je zgodno, ali budući da je HF kiselina korozivna za keramičke dijelove, cjelokupno čišćenje će skratiti vijek trajanja odgovarajućih dijelova.