vet-china прадстаўляе інавацыйны Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, комплекснае рашэнне для перадавой апрацоўкі паўправаднікоў. Распрацаваная з дбайнай дакладнасцю, гэтая сістэма апрацоўкі пласцін забяспечвае неперасягненую стабільнасць і выраўноўванне, што вельмі важна для высокаэфектыўных вытворчых асяроддзяў.
Вафельная лодка і пастамент з вертыкальнай калонкай выраблены з матэрыялаў прэміум-класа, якія гарантуюць тэрмічную стабільнасць і ўстойлівасць да хімічнай карозіі, што робіць яго прыдатным для самых патрабавальных працэсаў вырабу паўправаднікоў. Яго унікальная канструкцыя з вертыкальнай калонкай надзейна падтрымлівае пласціны, зніжаючы рызыку зрушэння і патэнцыйнага пашкоджання падчас транспарціроўкі і апрацоўкі.
Дзякуючы інтэграцыі Vertical Column Wafer Boat & Pedestal ад vet-china вытворцы паўправаднікоў могуць чакаць паляпшэння прапускной здольнасці, мінімізацыі часу прастою і павелічэння выхаду прадукцыі. Гэтая сістэма сумяшчальная з рознымі памерамі і канфігурацыямі пласцін, забяспечваючы гнуткасць і маштабаванасць для розных вытворчых патрэб.
Імкненне vet-china да дасканаласці гарантуе, што кожная вафельная лодка і пастамент з вертыкальнай калонкай адпавядаюць самым высокім стандартам якасці і прадукцыйнасці. Выбіраючы гэта перадавое рашэнне, вы інвестуеце ў перспектыўны падыход да працы з пласцінамі, які забяспечвае максімальную эфектыўнасць і надзейнасць у вытворчасці паўправаднікоў.
Уласцівасці рэкрышталізаванага карбіду крэмнію
Рэкрышталізаваны карбід крэмнію (R-SiC) - гэта высокапрадукцыйны матэрыял, цвёрдасць якога саступае толькі алмазу, які ўтвараецца пры высокай тэмпературы вышэй за 2000 ℃. Ён захоўвае многія выдатныя ўласцівасці SiC, такія як трываласць пры высокіх тэмпературах, моцная ўстойлівасць да карозіі, выдатная ўстойлівасць да акіслення, добрая ўстойлівасць да тэрмічнага ўдару і гэтак далей.
● Выдатныя механічныя ўласцівасці. Перакрышталізаваны карбід крэмнія мае больш высокую трываласць і калянасць, чым вугляроднае валакно, высокую ўдаратрываласць, можа гуляць добрую прадукцыйнасць у экстрэмальных тэмпературных асяроддзях, можа гуляць лепшую прадукцыйнасць процівагі ў розных сітуацыях. Акрамя таго, ён таксама валодае добрай гнуткасцю і не лёгка пашкоджваецца пры расцяжэнні і згінанні, што значна паляпшае яго характарыстыкі.
● Высокая ўстойлівасць да карозіі. Перакрышталізаваны карбід крэмнію валодае высокай каразійнай устойлівасцю да розных асяроддзяў, можа прадухіляць эрозію розных агрэсіўных асяроддзяў, можа захоўваць свае механічныя ўласцівасці на працягу доўгага часу, мае моцную адгезію, так што ён мае больш працяглы тэрмін службы. Акрамя таго, ён таксама валодае добрай тэрмічнай стабільнасцю, можа адаптавацца да пэўнага дыяпазону перападаў тэмпературы, паляпшае эфект прымянення.
● Спяканне не дае ўсаджвання. Паколькі ў працэсе спякання няма ўсаджвання, рэшткавае напружанне не прывядзе да дэфармацыі або парэпання прадукту, і можна падрыхтаваць дэталі складанай формы і высокай дакладнасці.
| 重结晶碳化硅物理特性 Фізічныя ўласцівасці рэкрышталізаванага карбіду крэмнію | |
| 性质 / Уласцівасць | 典型数值 / Тыповае значэнне |
| 使用温度/ Працоўная тэмпература (°C) | 1600°C (з кіслародам), 1700°C (аднаўленчае асяроддзе) |
| SiC含量/ Змест SiC | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Бясплатны кантэнт Si | <0,1% |
| 体积密度/Насыпная шчыльнасць | 2,60-2,70 г/см3 |
| 气孔率/ Уяўная сітаватасць | < 16% |
| 抗压强度/ Трываласць на сціск | > 600МПа |
| 常温抗弯强度/Трываласць на халодны выгіб | 80-90 Мпа (20°C) |
| 高温抗弯强度Гарачая трываласць на выгіб | 90-100 Мпа (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Цеплавое пашырэнне @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Цеплаправоднасць @1200°C | 23Вт/м•К |
| 杨氏模量/ Модуль пругкасці | 240 ГПа |
| 抗热震性/ Устойлівасць да цеплавога ўдару | Надзвычай добра |
ПТВ Энергія ёсць усапраўдны вытворца індывідуальных вырабаў з графіту і карбіду крэмнію з пакрыццём CVD,можа паставіцьрозныяіндывідуальныя дэталі для паўправадніковай і фотаэлектрычнай прамысловасці. OНаша тэхнічная каманда паходзіць з вядучых айчынных навукова-даследчых устаноў, можа даць больш прафесійныя матэрыяльныя рашэннідля вас.
Мы пастаянна распрацоўваем перадавыя працэсы, каб забяспечыць больш дасканалыя матэрыялы,іраспрацавалі эксклюзіўную запатэнтаваную тэхналогію, якая можа зрабіць сувязь паміж пакрыццём і падкладкай больш шчыльнай і менш схільнай да адслаення.
| ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Асноўныя фізічныя ўласцівасці CVD SiCпакрыццё | |
| 性质 / Уласцівасць | 典型数值 / Тыповае значэнне |
| 晶体结构 / Крышталічная структура | FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向 |
| 密度 / Шчыльнасць | 3,21 г/см³ |
| 硬度 / Цвёрдасць | 2500 维氏硬度 (загрузка 500 г) |
| 晶粒大小 / Памер збожжа | 2~10 мкм |
| 纯度 / Хімічная чысціня | 99,99995% |
| 热容 / Цеплаёмістасць | 640 Дж·кг-1·К-1 |
| 升华温度 / Тэмпература сублімацыі | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Трываласць на выгіб | 415 Мпа RT 4-кропкавы |
| 杨氏模量 / Модуль Юнга | 430 Гпа, выгіб 4 кропкі, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ТэрмалПраводнасць | 300 Вт·м-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Цеплавое пашырэнне (КТР) | 4,5×10-6K-1 |
Шчыра вітаем вас наведаць наш завод, давайце далей абмяркуем!
