награвальнік з керамічным пакрыццём з карбіду крэмнія

Вет-КітайКераміка з карбіду крэмніяПакрыццё - гэта высокаэфектыўнае ахоўнае пакрыццё, вырабленае з надзвычай цвёрдага і зносаўстойлівага матэрыялукарбід крэмнія (SiC)матэрыял, які забяспечвае выдатную ўстойлівасць да хімічнай карозіі і ўстойлівасць да высокіх тэмператур. Гэтыя характарыстыкі з'яўляюцца вырашальнымі ў вытворчасці паўправаднікоў, такКерамічнае пакрыццё з карбіду крэмніяшырока выкарыстоўваецца ў ключавых кампанентах абсталявання для вытворчасці паўправаднікоў.

Спецыфічная роля вет-кітаяКераміка з карбіду крэмніяНанясенне пакрыццяў у вытворчасці паўправаднікоў выглядае наступным чынам:

Павышэнне трываласці абсталявання:Керамічнае пакрыццё з карбіду крэмнію Керамічнае пакрыццё з карбіду крэмнія забяспечвае выдатную абарону паверхні абсталявання для вытворчасці паўправаднікоў дзякуючы надзвычай высокай цвёрдасці і зносаўстойлівасці. Асабліва ў высокатэмпературных і моцна каразійных тэхналагічных асяроддзях, такіх як хімічнае асаджэнне з паравой фазы (CVD) і плазменнае тручэнне, пакрыццё можа эфектыўна прадухіліць пашкоджанне паверхні абсталявання хімічнай эрозіяй або фізічным зносам, тым самым значна падаўжаючы тэрмін службы абсталявання. абсталяванне і скарачэнне часу прастою, выкліканага частай заменай і рамонтам.

Павышэнне чысціні працэсу:У працэсе вытворчасці паўправаднікоў дробныя забруджванні могуць выклікаць дэфекты прадукту. Хімічная інэртнасць керамічнага пакрыцця з карбіду крэмнія дазваляе яму заставацца стабільным у экстрэмальных умовах, прадухіляючы матэрыял ад выдзялення часціц або прымешак, тым самым забяспечваючы экалагічную чысціню працэсу. Гэта асабліва важна для этапаў вытворчасці, якія патрабуюць высокай дакладнасці і высокай чысціні, такіх як PECVD і іённая імплантацыя.

Аптымізацыя кіравання тэмпературай:Пры высокатэмпературнай апрацоўцы паўправаднікоў, такой як хуткая тэрмічная апрацоўка (RTP) і працэсы акіслення, высокая цеплаправоднасць керамічнага пакрыцця з карбіду крэмнію забяспечвае раўнамернае размеркаванне тэмпературы ўнутры абсталявання. Гэта дапамагае паменшыць тэрмічны стрэс і дэфармацыю матэрыялу, выкліканыя ваганнямі тэмпературы, тым самым паляпшаючы дакладнасць і кансістэнцыю вытворчасці прадукту.

Падтрымка складаных працэсаў:У працэсах, якія патрабуюць складанага кантролю атмасферы, такіх як ICP-тручэнне і PSS-тручэнне, стабільнасць і ўстойлівасць да акіслення керамічнага пакрыцця з карбіду крэмнія гарантуюць, што абсталяванне падтрымлівае стабільную прадукцыйнасць пры працяглай працы, зніжаючы рызыку пагаршэння якасці матэрыялу або пашкоджання абсталявання з-за да змен навакольнага асяроддзя.