Стволапрыёмнік для вадкаснай эпітаксіі LPE
EPI (эпітаксія)з'яўляецца найважнейшым працэсам у вытворчасці сучасных паўправаднікоў. Гэта ўключае ў сябе нанясенне тонкіх слаёў матэрыялу на падкладку для стварэння складаных канструкцый прылады. Графітавы ствол токапрымач для EPI з пакрыццём з SiC звычайна выкарыстоўваецца ў якасці токапрымачоў у рэактарах EPI дзякуючы сваёй выдатнай цеплаправоднасці і ўстойлівасці да высокіх тэмператур. зCVD-SiC пакрыццё, ён становіцца больш устойлівым да забруджванняў, эрозіі і тэрмічнага ўдару. Гэта прыводзіць да больш доўгага тэрміну службы прымача і паляпшэння якасці плёнкі.
Перавагі нашага стволапрымача для вадкаснай эпітаксіі LPE:
Зніжэнне забруджвання:Інэртная прырода SiC прадухіляе прыліпанне забруджванняў да паверхні ўспрымальніка, зніжаючы рызыку забруджвання нанесеных плёнак.
Падвышаная ўстойлівасць да эрозіі:SiC значна больш устойлівы да эрозіі, чым звычайны графіт, што забяспечвае больш працяглы тэрмін службы токапрымача.
Палепшаная тэрмічная стабільнасць:SiC мае выдатную цеплаправоднасць і можа вытрымліваць высокія тэмпературы без істотных скажэнняў.
Палепшаная якасць фільма:Палепшаная тэрмічная стабільнасць і паменшанае забруджванне прыводзяць да больш якасных нанесеных плёнак з паляпшэннем кантролю аднастайнасці і таўшчыні.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd - гэта высокатэхналагічнае прадпрыемства, якое спецыялізуецца на вытворчасці і продажы перадавых матэрыялаў высокага класа, матэрыялаў і тэхналогій, уключаючы графіт, карбід крэмнію, кераміку, апрацоўку паверхні, напрыклад, пакрыццё SiC, пакрыццё TaC, шкловуглярод пакрыццё, піралітычнае вугляроднае пакрыццё і г.д., гэтыя прадукты шырока выкарыстоўваюцца ў фотаэлектрычнай, паўправадніковай, новай энергетыцы, металургіі і г.д.
Наша тэхнічная група паходзіць з вядучых айчынных навукова-даследчых устаноў і распрацавала некалькі запатэнтаваных тэхналогій для забеспячэння прадукцыйнасці і якасці прадукцыі, а таксама можа прадастаўляць кліентам прафесійныя матэрыяльныя рашэнні.
Мы шчыра запрашаем вас наведаць нашу лабараторыю і завод для тэхнічнага абмеркавання і супрацоўніцтва!