Эпітаксіяльны Epi Graphite Barrel Susceptor

Эпітаксіяльны Epi Graphite Barrel Susceptor

Эпітаксіяльны Epi Graphite Barrel Susceptorгэта спецыяльна распрацаванае апорнае і награвальнае прылада, якое выкарыстоўваецца для ўтрымання і нагрэву паўправадніковых падкладак падчас вытворчых працэсаў, такіх як працэсы нанясення або эпітаксіі.

Яго структура ўключае ў сябе звычайна цыліндрычную або злёгку бочкападобную форму, паверхня мае мноства кішэняў або пляцовак для размяшчэння пласцін, можа быць суцэльнай або полай канструкцыяй, у залежнасці ад спосабу нагрэву.

Асноўныя функцыі эпітаксіяльнага стволапрымача:

-Падтрымка падкладкі: надзейна ўтрымлівае некалькі паўправадніковых пласцін;
-Крыніца цяпла: забяспечвае высокія тэмпературы, неабходныя для росту за кошт нагрэву;
-Раўнамернасць тэмпературы: забяспечвае раўнамерны нагрэў падкладак;
- Кручэнне: звычайна круціцца падчас росту для паляпшэння тэмпературы і аднастайнасці размеркавання газу.

Прынцып працы графітавага стволапрымача Epi:
- У эпітаксіяльным рэактары ствол токоприемника награваецца да неабходнай тэмпературы (звычайна 1000℃-1200℃ для крамянёвай эпітаксіі);
-Стойкапрымальнік круціцца для забеспячэння раўнамернага размеркавання тэмпературы і патоку газу;
-Рэакцыйныя газы раскладаюцца пры высокіх тэмпературах, утвараючы эпітаксіяльныя пласты на паверхні падкладкі.

прыкладанні:
-У асноўным выкарыстоўваецца для эпітаксіяльнага росту крэмнію
- Таксама прымяняецца для эпітаксіі іншых паўправадніковых матэрыялаў, такіх як GaAs, InP і г.д.

VET Energy выкарыстоўвае графіт высокай чысціні з пакрыццём CVD-SiC для павышэння хімічнай стабільнасці:

Перавагі VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:

-Высокая тэмпературная стабільнасць;
-Добрая цеплавая аднастайнасць;
- Можа апрацоўваць некалькі падкладак адначасова, павышаючы эфектыўнасць вытворчасці;
-Хімічна інэртны, падтрымлівае асяроддзе росту высокай чысціні.