8-цалевая крэмніевая пласціна тыпу P ад VET Energy - гэта высокаэфектыўная крамянёвая пласціна, прызначаная для шырокага спектру прымянення паўправаднікоў, уключаючы сонечныя элементы, прылады MEMS і інтэгральныя схемы. Гэтая пласціна, вядомая сваёй выдатнай электраправоднасцю і стабільнай прадукцыйнасцю, з'яўляецца пераважным выбарам для вытворцаў, якія жадаюць вырабляць надзейныя і эфектыўныя электронныя кампаненты. VET Energy забяспечвае дакладныя ўзроўні допінгу і высокую якасць аздаблення паверхні для аптымальнага вырабу прылады.
Гэтыя 8-цалевыя крэмніевыя пласціны тыпу P цалкам сумяшчальныя з рознымі матэрыяламі, такімі як SiC-падкладка, SOI-пласціна, SiN-падкладка, і падыходзяць для вырошчвання Epi-пласціны, забяспечваючы ўніверсальнасць перадавых працэсаў вытворчасці паўправаднікоў. Пласціны таксама можна выкарыстоўваць у спалучэнні з іншымі высокатэхналагічнымі матэрыяламі, такімі як аксід галію Ga2O3 і пласціны AlN, што робіць іх ідэальнымі для электронных прыкладанняў новага пакалення. Іх надзейная канструкцыя таксама лёгка ўпісваецца ў сістэмы на аснове касет, забяспечваючы эфектыўную апрацоўку вялікіх аб'ёмаў вытворчасці.
VET Energy прадастаўляе кліентам індывідуальныя вафельныя рашэнні. Мы можам наладзіць пласціны з розным удзельным супраціўленнем, утрыманнем кіслароду, таўшчынёй і г.д. у адпаведнасці з канкрэтнымі патрэбамі кліентаў. Акрамя таго, мы таксама забяспечваем прафесійную тэхнічную падтрымку і пасляпродажнае абслугоўванне, каб дапамагчы кліентам вырашыць розныя праблемы, якія ўзнікаюць у працэсе вытворчасці.
СПЕЦЫФІКАЦЫІ ВАФЕЛЕЙ
*n-Pm=n-тып Pm-класа,n-Ps=n-тыпу Ps-класа,Sl=паўізаляцыйны
Пункт | 8-цалевы | 6-цалевы | 4-цалевы | ||
пп | п-пм | п-пс | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6 мкм | ≤6 мкм | |||
Лук (GF3YFCD) - абсалютнае значэнне | ≤15 мкм | ≤15 мкм | ≤25 мкм | ≤15 мкм | |
Дэфармацыя (GF3YFER) | ≤25 мкм | ≤25 мкм | ≤40 мкм | ≤25 мкм | |
LTV(SBIR)-10ммx10мм | <2 мкм | ||||
Вафельны край | Фаска |
АЗДАБЛЕННЕ ПАВЕРХНІ
*n-Pm=n-тып Pm-класа,n-Ps=n-тыпу Ps-класа,Sl=паўізаляцыйны
Пункт | 8-цалевы | 6-цалевы | 4-цалевы | ||
пп | п-пм | п-пс | SI | SI | |
Аздабленне паверхні | Двухбаковая аптычная паліроўка, Si-Face CMP | ||||
Шурпатасць паверхні | (10 мкм x 10 мкм) Si-FaceRa≤0,2 нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Сколкі краю | Нічога не дазволена (даўжыня і шырыня≥0,5 мм) | ||||
Водступы | Нічога не дазволена | ||||
Драпіны (Si-Face) | Кол.≤5, сукупны | Кол.≤5, сукупны | Кол.≤5, сукупны | ||
Расколіны | Нічога не дазволена | ||||
Выключэнне краю | 3 мм |