İncə filmin çökməsi yarımkeçiricinin əsas substrat materialına bir film qatını örtməkdir. Bu plyonka müxtəlif materiallardan hazırlana bilər, məsələn, izolyasiyaedici birləşmə silisium dioksid, yarımkeçirici polisilikon, metal mis və s. Kaplama üçün istifadə olunan avadanlıq nazik təbəqənin çökməsi adlanır...
Daha ətraflı oxuyun