Fotolitoqrafiya maşınlarının dəqiq hissələri üçün üstünlük verilən material
Yarımkeçiricilər sahəsində,silisium karbid keramikamateriallar əsasən silisium karbid iş masası, bələdçi relslər kimi inteqral sxemlərin istehsalı üçün əsas avadanlıqlarda istifadə olunur.reflektorlar, keramika emiş çəni, litoqrafiya maşınları üçün qollar, daşlama diskləri, qurğular və s.
Silikon karbid keramika hissələriyarımkeçirici və optik avadanlıqlar üçün
● Silisium karbid keramika daşlama diski. Taşlama diski çuqun və ya karbon poladdan hazırlanırsa, onun xidmət müddəti qısadır və istilik genişlənmə əmsalı böyükdür. Silikon vaflilərin emalı zamanı, xüsusən də yüksək sürətlə üyüdülmə və ya cilalama zamanı daşlama diskinin aşınması və istilik deformasiyası silikon vaflinin düzlüyünü və paralelliyini təmin etməyi çətinləşdirir. Silikon karbid keramikadan hazırlanmış daşlama diski yüksək sərtliyə və aşağı aşınmaya malikdir və istilik genişlənmə əmsalı əsasən silikon vafli ilə eynidir, buna görə də yüksək sürətlə üyüdülə və cilalana bilər.
● Silikon karbid keramika qurğusu. Bundan əlavə, silikon vafli istehsal edildikdə, onlar yüksək temperaturda istilik müalicəsinə məruz qalmalıdırlar və çox vaxt silisium karbid qurğularından istifadə edərək daşınırlar. Onlar istiliyə davamlıdırlar və dağıdıcı deyillər. Performansı artırmaq, vaflinin zədələnməsini azaltmaq və çirklənmənin yayılmasının qarşısını almaq üçün səthə almaza bənzər karbon (DLC) və digər örtüklər tətbiq oluna bilər.
● Silikon karbid iş masası. Nümunə olaraq litoqrafiya maşınındakı iş masasını götürsək, iş masası əsasən ekspozisiya hərəkətini tamamlamaq üçün cavabdehdir, yüksək sürətli, böyük vuruşlu, altı sərbəstlik dərəcəsi nano səviyyəli ultra dəqiqlikli hərəkət tələb edir. Məsələn, 100 nm həlli, 33 nm örtük dəqiqliyi və 10 nm xətt eni olan bir litoqrafiya maşını üçün 10 nm-ə çatmaq üçün iş masasının yerləşdirmə dəqiqliyi tələb olunur, maska-silikon vafli eyni vaxtda addımlama və tarama sürəti 150 nm/s-dir. və müvafiq olaraq 120nm/s və maskanın skan edilməsi sürət 500nm/s-ə yaxındır və iş masasının çox yüksək hərəkət dəqiqliyinə və sabitliyinə malik olması tələb olunur.
İş masasının və mikro hərəkət masasının sxematik diaqramı (qismən bölmə)
● Silikon karbid keramika kvadrat güzgü. Litoqrafiya maşınları kimi əsas inteqral sxem avadanlığının əsas komponentləri mürəkkəb formalara, mürəkkəb ölçülərə və içi boş yüngül strukturlara malikdir və belə silisium karbid keramika komponentlərinin hazırlanmasını çətinləşdirir. Hal-hazırda, Hollandiyada ASML, Yaponiyada NIKON və CANON kimi əsas beynəlxalq inteqral sxem avadanlığı istehsalçıları kvadrat güzgülər, litoqrafiya maşınlarının əsas komponentləri hazırlamaq üçün mikrokristal şüşə və kordiyerit kimi böyük miqdarda materiallardan istifadə edir və silisium karbidindən istifadə edirlər. sadə formalı digər yüksək performanslı struktur komponentləri hazırlamaq üçün keramika. Bununla belə, Çin Tikinti Materialları Tədqiqat İnstitutunun mütəxəssisləri litoqrafiya maşınları üçün iri ölçülü, mürəkkəb formalı, çox yüngül, tam qapalı silisium karbid keramika kvadrat güzgülərin və digər struktur və funksional optik komponentlərin hazırlanmasına nail olmaq üçün xüsusi hazırlıq texnologiyasından istifadə etmişlər.
Göndərmə vaxtı: 10 oktyabr 2024-cü il