Sic örtük nədir?

Silikon karbidtərkibində silisium və karbon olan sərt birləşmədir və təbiətdə olduqca nadir mineral mozanit kimi tapılır. Silikon karbid hissəcikləri, xüsusilə yarımkeçirici prosesində yüksək davamlılıq tələb edən tətbiqlərdə geniş istifadə olunan çox sərt keramika yaratmaq üçün sinterləmə yolu ilə birləşdirilə bilər.

SiC-nin fiziki quruluşu

SiC örtüyü yüksək korroziyaya və istilik müqavimətinə və əla istilik keçiriciliyinə malik sıx, aşınmaya davamlı silisium karbid örtükdür. Bu yüksək təmizlikli SiC örtüyü ilk növbədə yarımkeçiricilər və elektronika sənayesində vafli daşıyıcıları, əsasları və qızdırıcı elementləri aşındırıcı və reaktiv mühitlərdən qorumaq üçün istifadə olunur. SiC örtüyü yüksək vakuum, reaktiv və oksigen mühitlərində vakuum sobaları və nümunə qızdırılması üçün də uyğundur.

Yüksək təmizlik SiC örtüklü səth

SiC örtük prosesi nədir?

İstifadə edərək substratın səthinə nazik bir silikon karbid təbəqəsi qoyulurCVD (Kimyəvi Buxar Depoziti). Çökmə adətən 1200-1300°C temperaturda aparılır və istilik gərginliyini minimuma endirmək üçün substrat materialının istilik genişlənmə davranışı SiC örtüyü ilə uyğun olmalıdır.

CVD SIC FİLMİN KRİSTAL STRUKTURU

CVD SIC Kaplama FİLMİNİN KRİSTAL STRUKTURU

SiC örtüyünün fiziki xassələri əsasən onun yüksək temperatur müqavimətində, sərtliyində, korroziyaya davamlılığında və istilik keçiriciliyində əks olunur.

Tipik fiziki parametrlər adətən aşağıdakılardır:

Sərtlik: SiC örtüyü adətən 2000-2500 HV diapazonunda Vickers sərtliyinə malikdir, bu da onlara sənaye tətbiqlərində son dərəcə yüksək aşınma və təsir müqaviməti verir.

Sıxlıq: SiC örtükləri adətən 3,1-3,2 q/sm³ sıxlığa malikdir. Yüksək sıxlıq örtükün mexaniki gücünə və davamlılığına kömək edir.

İstilik keçiriciliyi: SiC örtükləri yüksək istilik keçiriciliyinə malikdir, adətən 120-200 W/mK (20°C-də). Bu, ona yüksək temperaturlu mühitlərdə yaxşı istilik keçiriciliyi verir və onu xüsusilə yarımkeçirici sənayesində istilik müalicəsi avadanlığı üçün əlverişli edir.

Ərimə nöqtəsi: silisium karbid təxminən 2730°C ərimə nöqtəsinə malikdir və həddindən artıq temperaturda əla istilik sabitliyinə malikdir.

İstilik genişlənmə əmsalı: SiC örtükləri adətən 4,0-4,5 µm/mK aralığında (25-1000 ℃ temperaturda) aşağı xətti istilik genişlənmə əmsalına (CTE) malikdir. Bu o deməkdir ki, onun ölçü sabitliyi böyük temperatur fərqləri üzərində əladır.

Korroziyaya davamlılıq: SiC örtükləri güclü turşu, qələvi və oksidləşdirici mühitlərdə korroziyaya son dərəcə davamlıdır, xüsusən də güclü turşulardan (məsələn, HF və ya HCl) istifadə edildikdə, onların korroziyaya qarşı müqaviməti adi metal materiallarınkindən xeyli yüksəkdir.

SiC örtükləri aşağıdakı materiallara tətbiq oluna bilər:

Yüksək təmizlik izostatik qrafit (aşağı CTE)
Volfram
molibden
Silikon karbid
Silikon Nitrid
Karbon-Karbon Kompozitləri (CFC)

SiC örtüklü məhsullar adətən aşağıdakı sahələrdə istifadə olunur:

LED çip istehsalı
Polisilikon istehsalı
Yarımkeçiricikristal böyüməsi
Silikon vəSiC epitaksiyası
Vafli istilik müalicəsi və aşındırma

Niyə VET Energy seçirsiniz?

VET Energy, Çində SiC örtük məhsullarının aparıcı istehsalçısı, novatoru və lideridir, əsas SiC örtük məhsulları daxildir.SiC örtüklü vafli daşıyıcı, SiC örtüklüepitaksial həssas, SiC örtüklü qrafit üzük, SiC örtüklü yarım ay hissələri, SiC örtüklü karbon-karbon kompoziti, SiC örtüklü vafli qayıq, SiC örtüklü qızdırıcı, və s. VET Energy yarımkeçiricilər sənayesini son texnologiya və məhsul həlləri ilə təmin etməyə sadiqdir və fərdiləşdirmə xidmətlərini dəstəkləyir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı ürəkdən gözləyirik.