Awọn SinteredSilikoni Carbide (SiC)Crystal/Wafer Ọkọjẹ apẹrẹ fun awọn ibeere lile ti semikondokito ati awọn ile-iṣẹ microelectronics. O pese aaye ti o ni aabo fun mimu awọn kirisita ohun alumọni ati awọn wafers lakoko sisẹ iwọn otutu giga, ni idaniloju iduroṣinṣin ati mimọ wọn ni itọju jakejado.
Key Awọn ẹya ara ẹrọ
- Iyatọ Gbona Iduroṣinṣin: Agbara lati farada awọn iwọn otutu titi di 1600 ° C, apẹrẹ fun awọn ilana ti o nilo iṣakoso igbona deede.
- Superior Kemikali Resistance: Sooro si awọn kemikali ibajẹ pupọ julọ ati awọn gaasi, n pese agbara ni awọn agbegbe iṣelọpọ lile.
- Alagbara Mechanical: Ṣe abojuto iduroṣinṣin igbekalẹ labẹ aapọn giga, idinku o ṣeeṣe ti abuku tabi fifọ.
- Pọọku Gbona Imugboroosi: Ti ṣe apẹrẹ lati dinku eewu ti mọnamọna gbona ati fifọ, fifun iṣẹ igbẹkẹle lori lilo gigun.
- konge Manufacturing: Ti ṣe pẹlu konge giga lati pade awọn ibeere ilana kan pato ati gba ọpọlọpọ awọn gara ati awọn titobi wafer.
Awọn ohun elo
• Semikondokito wafer processing
• LED ẹrọ
• Iṣẹjade sẹẹli Photovoltaic
• Kemikali oru iwadi (CVD) awọn ọna šiše
• Iwadi ati idagbasoke ni imọ-ẹrọ ohun elo
烧结碳化硅物理特性 Ti ara-ini tiSnifeSohun ọṣọCarbide | |
性质 / Ohun ini | 典型数值 / Aṣoju Iye |
化学成分 / KemikaliTiwqn | SiC>95%, Si <5% |
体积密度 / Olopobobo iwuwo | >3.07 g/cm³ |
显气孔率/ Han porosity Porosity ti o han gbangba | <0.1% |
常温抗弯强度/ Modulu ti rupture ni 20 ℃ | 270 MPa |
高温抗弯强度/ Modulu ti rupture ni 1200 ℃ | 290MPa |
硬度/ Lile ni 20 ℃ | 2400 Kg/mm² |
断裂韧性/ lile lile ni 20% | 3.3MPa · m1/2 |
导热系数/ Imudara gbona ni 1200 ℃ | 45w/m .K |
热膨胀系数/ Imugboroosi gbona ni 20-1200 ℃ | 4.51 ×10-6/℃ |
最高工作温度/ Max.ṣiṣẹ otutu | 1400 ℃ |
热震稳定性/ Itoju mọnamọna gbona ni 1200 ℃ | O dara |
Kini idi ti o yan Silicon Carbide Sintered (SiC) Crystal/Wafer Boat?
Yiyan SiC Crystal / Wafer Boat tumọ si jijade fun igbẹkẹle, ṣiṣe, ati igbesi aye gigun. Ọkọ oju omi kọọkan gba awọn iwọn iṣakoso didara ti o muna lati rii daju pe o pade awọn ipele ti o ga julọ ti ile-iṣẹ naa. Ọja yii kii ṣe imudara aabo ati iṣẹ ṣiṣe ti ilana iṣelọpọ rẹ nikan ṣugbọn tun ṣe iṣeduro didara deede ti awọn kirisita ohun alumọni ati awọn wafers. Pẹlu SiC Crystal/Wafer Boat wa, o le gbẹkẹle ojutu kan ti o ṣe atilẹyin didara julọ iṣẹ rẹ.