RTP/RTA SiC Ti o ngbe Ẹru fun Idagba Epitaxial MOCVD

Apejuwe kukuru:

VET Energy RTP/RTA SiC Coating Carrier jẹ ọja ti o ga julọ ti a ṣe apẹrẹ lati pese iṣẹ ṣiṣe deede ati igbẹkẹle lori akoko ti o gbooro sii. O ni o ni Super ti o dara ooru resistance ati ki o gbona uniformity, ga ti nw, ogbara resistance, ṣiṣe awọn ti o ni pipe ojutu fun wafer processing awọn ohun elo.


  • Ibi ti Oti:China
  • Ilana Crystal:FCCβ ipele
  • Ìwúwo:3,21 g / cm
  • Lile:2500 Vickers
  • Iwọn ọkà:2 ~ 10μm
  • Mimo Kemikali:99.99995%
  • Agbara Ooru:640J · kg-1 · K-1
  • Iwọn otutu Sublimation:2700 ℃
  • Agbara Felexural:415 Mpa (RT 4-Point)
  • Modulu ọdọ:430 Gpa (4pt tẹ, 1300℃)
  • Imugboroosi Gbona (CTE):4.5 10-6K-1
  • Imudara Ooru:300 (W/MK)
  • Alaye ọja

    ọja Tags

    SiC Coating Carrier Fun RTP / RTA jẹ paati bọtini ti a lo ninu awọn ilana iṣelọpọ semikondokito ti a pe ni Rapid Thermal Processing & Annealing, a lo imọ-ẹrọ itọsi wa lati jẹ ki ohun elo carbide ohun alumọni pẹlu mimọ ti o ga pupọ, isokan ti a bo to dara ati igbesi aye iṣẹ to dara julọ, bii daradara bi giga kemikali resistance ati awọn ohun-ini iduroṣinṣin gbona.

    Awọn ẹya ara ẹrọ ti awọn ọja wa:

    1. Agbara ifoyina iwọn otutu to gaju to 1700 ℃.
    2. Ga ti nw ati ki o gbona uniformity
    3. O tayọ ipata resistance: acid, alkali, iyo ati Organic reagents.

    4. Lile giga, dada iwapọ, awọn patikulu ti o dara.
    5. Gigun iṣẹ igbesi aye ati diẹ sii ti o tọ

    CVD SiC薄膜基本物理性能

    Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCti a bo

    性质 / Ohun ini

    典型数值 / Aṣoju Iye

    晶体结构 / Crystal Be

    FCC β ipele多晶,主要为(111)取向

    密度 / iwuwo

    3.21 g/cm³

    硬度 / Lile

    2500 维氏硬度 (ẹrù 500g)

    晶粒大小 / Ọkà SiZe

    2 ~ 10μm

    纯度 / Kemikali ti nw

    99.99995%

    热容 / Ooru Agbara

    640 · kg-1· K-1

    升华温度 / Sublimation otutu

    2700 ℃

    抗弯强度 / Agbara Flexural

    415 MPa RT 4-ojuami

    杨氏模量 / Young's Modul

    430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃

    导热系数 / ThermalIwa ihuwasi

    300W·m-1· K-1

    热膨胀系数 / Imugboroosi Gbona (CTE)

    4.5×10-6K-1

    1

    2

    Agbara VET jẹ olupilẹṣẹ gidi ti lẹẹdi ti adani ati awọn ọja ohun alumọni ohun alumọni pẹlu awọn ibora oriṣiriṣi bii ibora SiC, ibora TaC, ideri erogba gilasi, ibora erogba pyrolytic, ati bẹbẹ lọ, le pese ọpọlọpọ awọn ẹya ti adani fun semikondokito ati ile-iṣẹ fọtovoltaic.

    Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ sii fun ọ.

    A n ṣe idagbasoke awọn ilana ilọsiwaju nigbagbogbo lati pese awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju diẹ sii, ati pe a ti ṣiṣẹ imọ-ẹrọ itọsi iyasọtọ, eyiti o le jẹ ki isunmọ laarin ibora ati sobusitireti ṣinṣin ati ki o kere si itusilẹ.

    Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • WhatsApp Online iwiregbe!