SiC Coating/Ti a bo Graphite Sobusitireti/Tay fun Semikondokito

Apejuwe kukuru:

VET Energy SiC Ti a bo Graphite Susceptor fun Idagbasoke Epitaxial jẹ ọja ti o ni iṣẹ giga ti a ṣe apẹrẹ lati pese iṣẹ deede ati igbẹkẹle lori akoko ti o gbooro sii. O ni o ni Super ti o dara ooru resistance ati ki o gbona uniformity, ga ti nw, ogbara resistance, ṣiṣe awọn ti o ni pipe ojutu fun wafer processing awọn ohun elo.

Fi imeeli ranṣẹ si wa Ṣe igbasilẹ bi PDF

Alaye ọja

ọja Tags

SiC ti a bo / ti a bo ti Graphite susceptor fun Semikondokito

AwọnSiC Ti a bo Lẹẹdi sobusitiretijẹ ojutu ti o tọ ati lilo daradara ti a ṣe apẹrẹ lati pade awọn ibeere lile ti ile-iṣẹ iṣelọpọ semikondokito. Ifihan Layer ti mimọ-gigaohun alumọni carbide (SiC) bo, sobusitireti yii n pese iduroṣinṣin igbona alailẹgbẹ, resistance ifoyina, ati igbesi aye iṣẹ gigun, ti o jẹ ki o jẹ apẹrẹ fun awọn ohun elo ni awọn ilana MOCVD, awọn gbigbe wafer graphite, ati awọn agbegbe otutu otutu miiran.

Awọn ẹya:
· O tayọ Gbona mọnamọna Resistance
· O tayọ ti ara mọnamọna Resistance
· O tayọ Kemikali Resistance
· Super High ti nw
· Wiwa ni eka apẹrẹ
· Lilo labẹ Afẹfẹ Oxidizing

Ohun elo:

Awọn ẹya ara ẹrọ ati Awọn anfani:

1. Superior Thermal Resistance:Pẹlu kan ga-mimọSiC ti a bo, sobusitireti duro awọn iwọn otutu to gaju, ni idaniloju iṣẹ ṣiṣe deede ni awọn agbegbe ti o nbeere gẹgẹbi epitaxy ati iṣelọpọ semikondokito.

2. Imudara Imudara:Awọn paati lẹẹdi ti a bo SiC jẹ apẹrẹ lati koju ipata kemikali ati ifoyina, jijẹ igbesi aye sobusitireti ni akawe si awọn sobusitireti lẹẹdi boṣewa.

3. Vitreous Ti a bo Graphite:Awọn oto vitreous be ti awọnSiC ti a bopese líle dada ti o dara julọ, idinku yiya ati yiya lakoko sisẹ iwọn otutu giga.

4. Ga ti nw SiC aso:Sobusitireti wa ṣe idaniloju ibajẹ kekere ni awọn ilana semikondokito ifura, nfunni ni igbẹkẹle fun awọn ile-iṣẹ ti o nilo mimọ ohun elo to lagbara.

5. Wide Market Ohun elo:AwọnSiC ti a bo lẹẹdi susceptorọja tẹsiwaju lati dagba bi ibeere fun awọn ọja ti a bo SiC ti ilọsiwaju ni iṣelọpọ semikondokito, ipo ti sobusitireti yii bi ẹrọ orin bọtini ni mejeeji ọja ti ngbe wafer lẹẹdi ati ọja ohun atẹwe ohun alumọni carbide ti a bo.

Awọn ohun-ini Aṣoju ti Ohun elo Graphite Ipilẹ:

Ìwúwo tó hàn gbangba:	1,85 g / cm3
Itanna Resisiti:	11 μΩm
Agbara Flexural:	49 MPa (500kgf/cm2)
Lile okun:	58
Eeru:	<5ppm
Imudara Ooru:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

CVD SiC薄膜基本物理性能 Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCti a bo
性质 / Ohun-ini	典型数值 / Iye Aṣoju
晶体结构 / Crystal Structure	FCC β alakoso 多晶，主要为（111）取向
密度 / iwuwo	3.21 g/cm³
硬度 / Lile	2500 维氏硬度 (ẹrù 500g)
晶粒大小 / Ọkà SiZe	2 ~ 10μm
纯度 / Kẹmika Mimọ	99.99995%
热容 / Agbara Ooru	640 · kg^-1· K^-1
升华温度 / Iwọn otutu Sublimation	2700 ℃
抗弯强度 / Agbara Flexural	415 MPa RT 4-ojuami
Modulus 杨氏模量 / Young's Modul	430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃
导热系数 / Imudara Ooru	300W·m^-1· K^-1
热膨胀系数 / Imugboroosi Gbona(CTE)	4.5×10^-6K^-1

Agbara VET jẹ olupilẹṣẹ gidi ti lẹẹdi ti adani ati awọn ọja ohun alumọni ohun alumọni pẹlu awọn ibora oriṣiriṣi bii ibora SiC, ibora TaC, ideri erogba gilasi, ibora erogba pyrolytic, ati bẹbẹ lọ, le pese ọpọlọpọ awọn ẹya ti adani fun semikondokito ati ile-iṣẹ fọtovoltaic.

Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ sii fun ọ.

A n ṣe idagbasoke awọn ilana ilọsiwaju nigbagbogbo lati pese awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju diẹ sii, ati pe a ti ṣiṣẹ imọ-ẹrọ itọsi iyasọtọ, eyiti o le jẹ ki isunmọ laarin ibora ati sobusitireti ṣinṣin ati ki o kere si itusilẹ.

Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!