SiC Ti a bo Graphite Carrier / Susceptor

Apejuwe kukuru:

VET Energy SiC Ti a bo Graphite Carrier/Susceptor jẹ ọja ti o ga julọ ti a ṣe apẹrẹ lati pese iṣẹ ṣiṣe deede ati igbẹkẹle lori akoko ti o gbooro sii. O ni o ni Super ti o dara ooru resistance ati ki o gbona uniformity, ga ti nw, ogbara resistance, ṣiṣe awọn ti o ni pipe ojutu fun wafer processing awọn ohun elo.

 


Alaye ọja

ọja Tags

Sussetpor ti a bo SiC jẹ paati bọtini ti a lo ni ọpọlọpọ awọn ilana iṣelọpọ semikondokito. A lo imọ-ẹrọ itọsi wa lati ṣe suscetpor ti a bo SiC pẹlu mimọ ti o ga pupọ, aṣọ aṣọ ti o dara ati igbesi aye iṣẹ ti o dara julọ, bii resistance kemikali giga ati awọn ohun-ini iduroṣinṣin gbona.

Awọn ẹya ara ẹrọ ti awọn ọja wa:

1. Agbara ifoyina iwọn otutu to gaju to 1700 ℃.
2. Ga ti nw ati ki o gbona uniformity
3. O tayọ ipata resistance: acid, alkali, iyo ati Organic reagents.
4. Lile giga, dada iwapọ, awọn patikulu ti o dara.
5. Gigun iṣẹ igbesi aye ati diẹ sii ti o tọ

onigbese2 ti ngbe4

ti ngbe1 onigbese3

 

CVD SiC薄膜基本物理性能

Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCti a bo

性质 / Ohun ini

典型数值 / Aṣoju Iye

晶体结构 / Crystal Be

FCC β ipele多晶,主要为(111)取向

密度 / iwuwo

3.21 g/cm³

硬度 / Lile

2500 维氏硬度 (ẹrù 500g)

晶粒大小 / Ọkà SiZe

2 ~ 10μm

纯度 / Kemikali ti nw

99.99995%

热容 / Ooru Agbara

640 · kg-1· K-1

升华温度 / Sublimation otutu

2700 ℃

抗弯强度 / Agbara Flexural

415 MPa RT 4-ojuami

杨氏模量 / Young's Modul

430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃

导热系数 / ThermalIwa ihuwasi

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / Imugboroosi Gbona (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • WhatsApp Online iwiregbe!