Sussetpor ti a bo SiC jẹ paati bọtini ti a lo ni ọpọlọpọ awọn ilana iṣelọpọ semikondokito.A lo imọ-ẹrọ itọsi wa lati ṣe suscetpor ti a bo SiC pẹlu mimọ ti o ga pupọ, aṣọ aṣọ ti o dara ati igbesi aye iṣẹ ti o dara julọ, bii resistance kemikali giga ati awọn ohun-ini iduroṣinṣin gbona.
Awọn ẹya ara ẹrọ ti awọn ọja wa:
1. Agbara ifoyina iwọn otutu to gaju to 1700 ℃.
2. Ga ti nw ati ki o gbona uniformity
3. O tayọ ipata resistance: acid, alkali, iyo ati Organic reagents.
4. Lile giga, dada iwapọ, awọn patikulu ti o dara.
5. Gigun iṣẹ igbesi aye ati diẹ sii ti o tọ
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCti a bo | |
| 性质 / Ohun ini | 典型数值 / Aṣoju Iye |
| 晶体结构 / Crystal Be | FCC β ipele多晶，主要为（111)取向 |
| 密度 / iwuwo | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / Lile | 2500 维氏硬度 (ẹrù 500g) |
| 晶粒大小 / Ọkà SiZe | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Kemikali ti nw | 99.99995% |
| 热容 / Ooru Agbara | 640 · kg-1· K-1 |
| 升华温度 / Sublimation otutu | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Agbara Flexural | 415 MPa RT 4-ojuami |
| 杨氏模量 / Young's Modul | 430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalIwa ihuwasi | 300W·m-1· K-1 |
| 热膨胀系数 / Imugboroosi Gbona (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!
