Ohun alumọni Carbide Ti a bo Graphite Susceptor fun LED etching

Apejuwe kukuru:

Silikoni carbide susceptor fun LED etching (SiC atẹ) jẹ ẹya ẹrọ pataki fun etching ohun alumọni jin (ẹrọ ICP etching). onigbese wafer, ti a tun mọ ni oniwafe, ohun ti nmu silikoni, ti a tun mọ ni wafer apo. Ti a lo jakejado ni semikondokito CVD ati igbale sputtering.


Alaye ọja

ọja Tags

Silikoni carbide ti a bo susceptor jẹa bọtinipaati ti a lo ni ọpọlọpọ awọn ilana iṣelọpọ semikondokito.A lo imọ-ẹrọ itọsi wa lati jẹ ki ohun alumọni carbide ti a bo pẹlumimọ ti o ga pupọ,darati a boisokanati awọn ẹya o tayọ iṣẹ aye, si be e siresistance kemikali giga ati awọn ohun-ini iduroṣinṣin gbona.

Agbara VET jẹ awọnolupese gidi ti graphite ti adani ati awọn ọja ohun alumọni carbide pẹlu ibora CVD,le peseorisirisiawọn ẹya adani fun semikondokito ati ile-iṣẹ fọtovoltaic. OẸgbẹ imọ-ẹrọ ur wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ siifun e.

A ṣe idagbasoke awọn ilana ilọsiwaju nigbagbogbo lati pese awọn ohun elo ilọsiwaju diẹ sii,atiti ṣiṣẹ imọ-ẹrọ itọsi iyasọtọ, eyiti o le jẹ ki isunmọ laarin ibora ati sobusitireti ṣinṣin ati ki o kere si isọkuro.

Founjẹ ti awọn ọja wa:

1. Agbara ifoyina iwọn otutu to gaju to 1700.
2. Ga ti nw atigbona uniformity
3. O tayọ ipata resistance: acid, alkali, iyo ati Organic reagents.
4. Lile giga, dada iwapọ, awọn patikulu ti o dara.
5. Gigun iṣẹ igbesi aye ati diẹ sii ti o tọ

CVD SiC薄膜基本物理性能

Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCti a bo

性质 / Ohun ini

典型数值 / Aṣoju Iye

晶体结构 / Crystal Be

FCC β ipele多晶,主要为(111)取向

密度 / iwuwo

3.21 g/cm³

硬度 / Lile

2500 维氏硬度 (ẹrù 500g)

晶粒大小 / Ọkà SiZe

2 ~ 10μm

纯度 / Kemikali ti nw

99.99995%

热容 / Ooru Agbara

640 · kg-1· K-1

升华温度 / Sublimation otutu

2700 ℃

抗弯强度 / Agbara Flexural

415 MPa RT 4-ojuami

杨氏模量 / Young's Modul

430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃

导热系数 / ThermalIwa ihuwasi

300W·m-1· K-1

热膨胀系数 / Imugboroosi Gbona (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • WhatsApp Online iwiregbe!