PECVD Ikojọpọ Atẹ Ikole Graphite Atẹ

PECVD Ikojọpọ Atẹ Ikojọpọ Lẹẹdi Atẹ Ifihan Aworan

Apejuwe kukuru:

VET Energy's PECVD Loading Tray jẹ apẹrẹ lati pese aabo ati paapaa atilẹyin fun awọn wafers lakoko ifisilẹ, imudarasi aitasera ati didara ilana ifisilẹ. Pẹlu awọn oniwe-o tayọ ooru resistance, awọn Graphite Atẹ ṣe iranlọwọ lati ṣetọju agbegbe iṣakoso inu awọn iyẹwu PECVD, idinku eewu ti ibajẹ ati aridaju ṣiṣe ilana giga.

Fi imeeli ranṣẹ si wa Ṣe igbasilẹ bi PDF

Alaye ọja

ọja Tags

Atẹ ikojọpọ VET Energy PECVD jẹ agbẹru to peye ti a ṣe apẹrẹ fun ilana PECVD (iṣamudara pilasima aruku kemikali). Atẹ graphite ti o ni agbara giga yii jẹ ti mimọ-giga, ohun elo graphite iwuwo giga. O ni o ni o tayọ ga otutu resistance, ipata resistance, onisẹpo iduroṣinṣin ati awọn miiran abuda. O le pese ipilẹ ti ngbe iduro fun ilana PECVD ati rii daju iṣọkan ati fifẹ ti ifisilẹ fiimu.

Awọn atẹ ikojọpọ VET Energy PECVD jẹ lilo pupọ ni semikondokito, fọtovoltaic, LED ati awọn aaye miiran. Fun apere:

▪ Semikondokito: Ilana PECVD fun awọn ohun elo semikondokito gẹgẹbi awọn fifẹ silikoni ati awọn wafers epitaxial.

▪ Photovoltaic: Ilana PECVD fun awọn fiimu tinrin sẹẹli.

▪ LED: Ilana PECVD fun awọn eerun LED.

Awọn anfani Ọja

▪Ṣe ilọsiwaju didara fiimu:Rii daju ifasilẹ fiimu aṣọ ati ilọsiwaju didara fiimu.

▪Mu igbesi aye ohun elo:O tayọ ipata resistance, fa awọn iṣẹ aye ti PECVD ẹrọ.

▪Din awọn idiyele iṣelọpọ dinku:Awọn atẹ lẹẹdi didara to gaju le dinku oṣuwọn alokuirin ati dinku awọn idiyele iṣelọpọ.

Ohun elo graphite lati SGL:

Aṣoju paramita: R6510
Atọka	Igbeyewo bošewa	Iye	Ẹyọ
Apapọ ọkà iwọn	ISO 13320	10	μm
Olopobobo iwuwo	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Ṣii porosity	DIN66133	10	%
Iwọn pore alabọde	DIN66133	1.8	μm
Igbalaaye	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell líle HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specific itanna resistivity	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Agbara Flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Agbara titẹ	DIN 51910	130	MPa
modulus ọdọ	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Imugboroosi gbona (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Imudara igbona (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

O jẹ apẹrẹ pataki fun iṣelọpọ iṣelọpọ oorun ti o ga, ti n ṣe atilẹyin sisẹ wafer titobi G12 nla. Apẹrẹ ti ngbe iṣapeye pọ si ilọjade pọsi, ṣiṣe awọn oṣuwọn ikore ti o ga julọ ati awọn idiyele iṣelọpọ kekere.

Nkan	Iru	Nọmba wafer ti ngbe
PEVCD Grephite ọkọ - The 156 jara	156-13 grephite ọkọ	144
	156-19 grephite ọkọ	216
	156-21 grephite ọkọ	240
	156-23 lẹẹdi ọkọ	308
PEVCD Grephite ọkọ - The 125 jara	125-15 grephite ọkọ	196
	125-19 grephite ọkọ	252
	125-21 grphite ọkọ	280