PECVD Graphite Wafer Support

PECVD Graphite Wafer Atilẹyin Aworan Ifihan

Apejuwe kukuru:

Ti a ṣe apẹrẹ fun pipe ati iṣẹ ṣiṣe, VET Energy's Graphite Wafer Support jẹ ohun elo ti o dara julọ fun lilo ninu sisẹ wafer ilọsiwaju, nibiti iduroṣinṣin igbona giga ati iṣẹ ṣiṣe deede jẹ pataki. Boya o n ṣiṣẹ pẹlu awọn wafers semikondokito tabi awọn sobusitireti elege miiran, atilẹyin graphite ti o ni agbara giga yoo jẹki igbẹkẹle ilana rẹ ati didara ọja, jẹ ki o jẹ ẹya pataki fun iṣelọpọ ode oni.

Fi imeeli ranṣẹ si wa Ṣe igbasilẹ bi PDF

Alaye ọja

ọja Tags

VET Energy PECVD ilana atilẹyin wafer lẹẹdi jẹ ohun elo mojuto ti a ṣe apẹrẹ fun ilana PECVD (imudara pilasima iyọkuro oru kemikali). Ọja yii jẹ ti mimọ-giga, ohun elo graphite iwuwo giga, pẹlu iwọn otutu giga ti o dara julọ, resistance ipata, iduroṣinṣin iwọn ati awọn abuda miiran, le pese ipilẹ atilẹyin iduroṣinṣin fun ilana PECVD, lati rii daju iṣọkan ati flatness ti fifisilẹ fiimu.

Apẹrẹ “atilẹyin lẹẹdi” ti VET Energy graphite wafer support ko le ṣe atilẹyin wafer ni imunadoko, ṣugbọn tun pese iduroṣinṣin gbona ni iwọn otutu giga ati agbegbe PECVD titẹ giga lati rii daju iduroṣinṣin ti ilana naa.

VET Energy PECVD atilẹyin wafer graphite ilana ni awọn abuda wọnyi:

▪Mimo giga:lalailopinpin kekere akoonu aimọ, yago fun idoti ti fiimu, lati rii daju awọn didara ti awọn fiimu.

▪iwuwo giga:iwuwo giga, agbara ẹrọ ti o ga, le duro ni iwọn otutu giga ati agbegbe PECVD titẹ giga.

▪Iduroṣinṣin iwọn to dara:awọn iyipada iwọn kekere ni iwọn otutu giga lati rii daju iduroṣinṣin ti ilana naa.

▪Imudara igbona ti o dara julọ:gbigbe ooru ni imunadoko lati ṣe idiwọ gbigbona wafer.

▪Idaabobo ipata ti o lagbara:Ni anfani lati koju ogbara nipasẹ ọpọlọpọ awọn gaasi ipata ati pilasima.

▪Iṣẹ adani:Awọn tabili atilẹyin lẹẹdi ti awọn titobi oriṣiriṣi ati awọn apẹrẹ le jẹ adani ni ibamu si awọn iwulo alabara.

Ohun elo graphite lati SGL:

Aṣoju paramita: R6510
Atọka	Igbeyewo bošewa	Iye	Ẹyọ
Apapọ ọkà iwọn	ISO 13320	10	μm
Olopobobo iwuwo	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Ṣii porosity	DIN66133	10	%
Iwọn pore alabọde	DIN66133	1.8	μm
Igbalaaye	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell líle HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specific itanna resistivity	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Agbara Flexural	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Agbara titẹ	DIN 51910	130	MPa
modulus ọdọ	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Imugboroosi gbona (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Imudara igbona (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

O jẹ apẹrẹ pataki fun iṣelọpọ iṣelọpọ oorun ti o ga, ti n ṣe atilẹyin sisẹ wafer titobi G12 nla. Apẹrẹ ti ngbe iṣapeye pọ si ilọjade pọsi, ṣiṣe awọn oṣuwọn ikore ti o ga julọ ati awọn idiyele iṣelọpọ kekere.

Nkan	Iru	Nọmba wafer ti ngbe
PEVCD Grephite ọkọ - The 156 jara	156-13 grephite ọkọ	144
	156-19 grephite ọkọ	216
	156-21 grephite ọkọ	240
	156-23 lẹẹdi ọkọ	308
PEVCD Grephite ọkọ - The 125 jara	125-15 grephite ọkọ	196
	125-19 grephite ọkọ	252
	125-21 grphite ọkọ	280