VET Energy Graphite Sobusitireti Wafer dimu jẹ agbẹru pipe ti a ṣe apẹrẹ fun ilana PECVD (Plasma Enhanced Kemikali Vapor Deposition). Dimu sobusitireti lẹẹdi didara didara yii jẹ mimọ-giga, ohun elo graphite iwuwo giga, pẹlu resistance otutu giga ti o dara julọ, resistance ipata, iduroṣinṣin iwọn ati awọn abuda miiran. O le pese ipilẹ atilẹyin iduroṣinṣin fun ilana PECVD ati rii daju iṣọkan ati fifẹ ti ifisilẹ fiimu.
VET Energy PECVD tabili atilẹyin graphite wafer ni awọn abuda wọnyi:
▪Mimo giga:lalailopinpin kekere akoonu aimọ, yago fun idoti ti fiimu, rii daju didara fiimu.
▪iwuwo giga:iwuwo giga, agbara ẹrọ ti o ga, le duro ni iwọn otutu giga ati agbegbe PECVD titẹ giga.
▪Iduroṣinṣin iwọn to dara:iyipada iwọn kekere ni iwọn otutu ti o ga, aridaju iduroṣinṣin ilana.
▪Imudara igbona ti o dara julọ:gbigbe ooru ni imunadoko lati ṣe idiwọ gbigbona wafer.
▪Idaabobo ipata ti o lagbara:le koju ogbara nipa orisirisi ipata ategun ati pilasima.
▪Iṣẹ adani:lẹẹdi support tabili ti o yatọ si titobi ati ni nitobi le ti wa ni adani gẹgẹ bi onibara aini.
Awọn anfani Ọja
▪Ṣe ilọsiwaju didara fiimu:Rii daju ifasilẹ fiimu aṣọ ati ilọsiwaju didara fiimu.
▪Mu igbesi aye ohun elo:O tayọ ipata resistance, fa awọn iṣẹ aye ti PECVD ẹrọ.
▪Din awọn idiyele iṣelọpọ dinku:Awọn atẹ lẹẹdi didara to gaju le dinku oṣuwọn alokuirin ati dinku awọn idiyele iṣelọpọ.
Ohun elo graphite lati SGL:
| Aṣoju paramita: R6510 | |||
| Atọka | Igbeyewo bošewa | Iye | Ẹyọ |
| Apapọ ọkà iwọn | ISO 13320 | 10 | μm |
| Olopobobo iwuwo | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Ṣii porosity | DIN66133 | 10 | % |
| Iwọn pore alabọde | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Igbalaaye | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Rockwell líle HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specific itanna resistivity | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Agbara Flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Agbara titẹ | DIN 51910 | 130 | MPa |
| modulus ọdọ | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Imugboroosi gbona (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Imudara igbona (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
O jẹ apẹrẹ pataki fun iṣelọpọ iṣelọpọ oorun ti o ga, ti n ṣe atilẹyin sisẹ wafer titobi G12 nla. Apẹrẹ ti ngbe iṣapeye pọ si ilọjade pọsi, ṣiṣe awọn oṣuwọn ikore ti o ga julọ ati awọn idiyele iṣelọpọ kekere.
| Nkan | Iru | Nọmba wafer ti ngbe |
| PEVCD Grephite ọkọ - The 156 jara | 156-13 grephite ọkọ | 144 |
| 156-19 grephite ọkọ | 216 | |
| 156-21 grephite ọkọ | 240 | |
| 156-23 lẹẹdi ọkọ | 308 | |
| PEVCD Grephite ọkọ - The 125 jara | 125-15 grephite ọkọ | 196 |
| 125-19 grephite ọkọ | 252 | |
| 125-21 grphite ọkọ | 280 |
