Ọkọ oju-omi ayaworan ti a lo ninu PECVD ti laini iṣelọpọ sẹẹli
Ṣiṣejade awọn sẹẹli oorun nilo awọn ilana pataki mẹfa: texturing, itankale, etching, bo, titẹ iboju ati sintering.Ninu iṣelọpọ ti awọn sẹẹli oorun, ilana ti a bo tube PECVD nlo ọkọ oju omi graphite bi ara ti n ṣiṣẹ.Ilana ti a bo naa nlo ifitonileti pilasima ti o ni ilọsiwaju pilasima lati ṣafipamọ fiimu nitride silikoni kan ni iwaju wafer ohun alumọni lati dinku iṣaro oju-oorun ati oju ti wafer silikoni.
Awọn ẹya ti ọkọ oju omi graphite PECVD wa:
1).Ti gba lati yọkuro “awọn lẹnsi awọ” imọ-ẹrọ, lati rii daju laisi “awọn lẹnsi coloe” lakoko ilana igba pipẹ.
2).Ti a ṣe ti ohun elo graphite ti o wọle pẹlu mimọ giga, akoonu aimọ kekere ati agbara giga.
3).Lilo seramiki 99.9% fun apejọ seramiki pẹlu iṣẹ sooro ipata ti o lagbara ati ẹri ikunra.
4).Lilo awọn konge processing ẹrọ lati rii daju awọn išedede ti kọọkan awọn ẹya ara.
Sipesifikesonu
| Nkan | Iru | Nọmba wafer ti ngbe |
| Ọkọ oju omi PEVCD Graphite --- Awọn 156 jara | 156-13 lẹẹdi ọkọ | 144 |
| 156-19 lẹẹdi ọkọ | 216 | |
| 156-21 lẹẹdi ọkọ | 240 | |
| 156-23 lẹẹdi ọkọ | 308 | |
| Ọkọ oju omi PEVCD Graphite --- Awọn 125 jara | 125-15 lẹẹdi ọkọ | 196 |
| 125-19 lẹẹdi ọkọ | 252 | |
| 125-21 lẹẹdi ọkọ | 280 |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd jẹ ile-iṣẹ imọ-ẹrọ giga ti o ni idojukọ lori iṣelọpọ ati tita awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju giga, awọn ohun elo ati imọ-ẹrọ pẹlu graphite, silikoni carbide, awọn ohun elo amọ, itọju dada bii ibora SiC, ibora TaC, carbon glassy ti a bo, pyrolytic erogba bo, ati be be lo, awọn ọja wọnyi ni o gbajumo ni lilo ni photovoltaic, semikondokito, titun agbara, Metallurgy, ati be be lo.
Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, ati pe o ti ni idagbasoke awọn imọ-ẹrọ itọsi pupọ lati rii daju iṣẹ ṣiṣe ati didara, tun le pese awọn alabara pẹlu awọn solusan ohun elo ọjọgbọn.
